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101.
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术. 该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27nm CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造. 相似文献
102.
对基于Top-Down加工技术的纳米电子器件如:单电子器件、共振器件、分子电子器件等的研究现状、面临的主要挑战等进行了讨论. 采用CMOS兼容的工艺成功地研制出单电子器件,观察到明显的库仑阻塞效应;在半绝缘GaAs衬底上制作了AlAs/GaAs/In0.1Ga0.9As/GaAs/AlAs双势垒共振隧穿二极管,采用环型集电极和薄势垒结构研制的共振隧穿器件,在室温下测得其峰谷电流比高达13.98,峰电流密度大于89kA/cm2;概述了交叉阵列的分子存储器的研究进展. 相似文献
103.
最短路径算法是智能车辆路径规划问题的核心内容。从道路网络拓扑结构的自动构建以及Dijkstra算法中快速搜索技术的实现入手,综合考虑核心算法和数据存储结构两个方面,提出了直线优化Dijkstra算法。该算法能够有效降低时间复杂性,提高系统的效率。 相似文献
104.
EPON技术在有线电视网络宽带接入中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
在分析目前国内有线电视网络宽带接入技术的基础上,介绍了EPON(以太网无源光网络)技术。根据有线电视HFC网络结构,探讨了EPON技术在有线电视网络宽带接入中应用的可能性,并且提出了在有线电视宽带网络中应用EPON技术的思路。 相似文献
105.
浅析新形式下开设电子设计实验公共选修课 总被引:1,自引:0,他引:1
为适应高校实验教学改革的要求,我们面向全校开设了“电子设计实验”公共选修课,此举在全校同学中引起了强烈反响。作为实验教学的一种尝试。本文仅对在我校开设电子设计公共选修课的意义和实验方法等进行了探讨。 相似文献
106.
如图,棱长为a的正方体ABCD-A1B1C1D1中,6条面对角线构成棱长为2a的正四面体A1BC1D,连结相邻面的中心构成棱长为a 相似文献
107.
108.
109.
We have observed strong scattering of a probe light by dilute Bose-Einstein condensate (BEC) ^87Rb gas in a tight magnetic trap. The scattering light forms fringes at the image plane. It is found that we can infer the real size of the condensation and the number of the atoms by modelling the imaging system. We present a quantitative calculation of light scattering by the condensed atoms. The calculation shows that the experimental results agree well with the prediction of the generalized diffraction theory, and thus we can directly observe the phase transition of BEC in a tight trap. 相似文献
110.