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The copolymers of chloroethyl methacrylate (CMA), glycidyl methacry-late (GMA), and methyl methacrylate (MMA) were synthesized in benzene solution. Theirbreadths of the molecular weight distributions are 2.1 and 2.3, respectively The ther-mal stability of P(GMA-CMA) is superior to that of P(CMA-MMA). The resolutionsof P(CMA-MMA) and P(GMA-CMA) photoresists were found to be 0.1～0.16μm and0.17 ～0.2μm, respectively. 相似文献
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20 0 0年全国青年学者同步辐射研讨会于 4月 5日至 6日在中国科学技术大学国家同步辐射实验室召开 .本次研讨会由中国物理学会全国同步辐射专业委员会主办、国家同步辐射实验室承办 ,第二届同步辐射专业委员会主任委员张新夷教授任会议主席 .参加会议的有来自中国科学院高能物理研究所、上海同步辐射光源、中国科学技术大学国家同步辐射实验室及全国各用户单位的青年学者 6 0余人 .会上 ,冼鼎昌院士和王迅院士分别作了题为“世纪之交的同步辐射应用”和“第三代同步辐射光源与表面物理研究”的特邀报告 ,冼鼎昌院士的报告对同步辐射的 50年… 相似文献
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作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250 μm,焦距为30 cm。共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23 μm变化到37 μm。在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3％变化到33.2％。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224 μm。透镜光学性能的测试正在进行中。 相似文献
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微细加工新方法——LIGA技术 总被引：2，自引：0，他引：2
本文介绍了一种微细加工新方法ＬＩＧＡ（ｉｎＧｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ,ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果 相似文献