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71.
厚胶光刻非线性畸变的校正 总被引:3,自引:0,他引:3
利用厚胶光刻技术制作大深度微结构元件是一种有效的途径,但厚胶光刻过程中的非线性畸变对光刻面形质量的严重影响限制了该技术的应用,基于此,提出了一种对掩模透射率函数进行校正的方法。分析空间像形成及其在光刻胶内传递、曝光、显影等过程中非线性因素的影响,利用模拟退火算法对掩模透射率函数进行校正,以提高光刻面形质量,并以凹面柱透镜为例,给出了校正前后的显影轮廓模拟结果,其校正后浮雕面形的体积偏差仅为2.63%。该方法在有效改善面形质量的同时,并没有引起掩模的设计、制作难度及费用增加,这对于设计、制作高质量的微结构元件有重要意义。 相似文献
72.
在水溶液中以谷胱甘肽(Glutathione,GSH)为稳定剂和还原剂,制备了具有较好荧光性能的金纳米团簇(GSH-AuNCs),对其结构和荧光性能等进行了表征。基于Cu2+对该GSH-AuNCs的荧光具有选择性猝灭作用建立了一种快速且简便的检测痕量Cu2+的方法。考察了检测体系中GSH-AuNCs的浓度、反应时间、pH值等因素对测定的影响。结果表明,在最优实验条件下,GSH-AuNCs的荧光强度与Cu2+的浓度分别在5.0×10-9~4.0×10-6 mol/L(R=0.9940),4.0×10-6~2.0×10-5 mol/L(R=0.9950)范围呈良好线性关系,检出限(S/N=3)为2.0×10-9 mol/L。该方法成功地应用于实际水样中Cu2+的检测。 相似文献
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在工业控制中,检测交流瞬时值往往是必不可少的.以前较常用的方法是把交流电源分压、整流、滤波,然后根据其直流分量的变化来修正控制值.这种方法最大的缺点是延迟时间长,如果用于计算机控制系统中还得经过一次A/D转换,方能为计算机所接受.对于快速变化的量,在计算机控制中采用上述方法显然是不行的。但是只要利用计算机速度快、编程灵活的特扁此类间皿是可以转换。进/刀转换芯片接成连续转换的方式。转换后 相似文献
77.
将 Bi_2O_3,SrCO_3,CaCO_3,CuO 按比例混合和熔融,化合成 Bi-Sr-Ca-Cu-O 复合氧化物,浇铸成型;经高温退火处理获得起始转变温度117K,零电阻温度79K 的多相超导体.此法与通常的烧结法进行了对比. 相似文献
78.
自60年代后期采用环氧树脂芯片胶粘剂以来,各种各样的环氧基胶粘剂、涂料和密封剂已经广泛用于混合电路。最近环氧树脂的研制包括以下三方面:军事应用的新的芯片粘接材料、低应力陶瓷密封剂以及新的封装化合物。事实上,新一代的高纯度环氧树脂已开始渗透到了混合电路市场。美国军用标准Mi1—883第5011项就是密封应用的新的芯片粘接标准。几家生产厂已经开发并试制成为满足新技术要求而设计的具有改进纯度和除气性能的先进的胶粘剂。高纯度 相似文献
79.
采用溶胶-凝胶燃烧合成法制备了Mg2+掺杂的Li-Zn铁氧体Li0.1Zn0.8MgxFe2.1-xO4(x=0,0.02,0.04,0.06,0.08).借助于TG-DSC、XRD、FT-IR、SEM和Agilent8722ET网络分析仪等表征手段,研究了样品的形成过程、晶体结构、微观形貌和电磁损耗性能.结果表明,当x≤0.06时,粉体为单一的尖晶石型锂锌铁氧体;随着掺镁量的增加,样品的晶格常数先增大后减小.掺入适量镁离子能有效调整铁氧体的微波电磁参数,当x=0.06时,在6.5 GHz 和15 GHz附近损耗角正切(tan δ)峰值达到最大(分别为0.11和0.54),此时微波电磁损耗最佳.利用微波电磁理论分析了电磁参数的变化机理. 相似文献
80.
目前多种成熟的融合算法已经应用在各种遥感软件中,但是融合方法的选择往往会因融合对象的不同而有所差异.为了评价出各个融合算法在QuickBird影像融合上的优缺点,本文在像素级的融合层次土运用多尺度分析的方法进行了融合实验.实验中,根据不同的算法原理引入了七种常用的融合算法,并以空间细节信息、光谱质量以及亮度信息作为统计参数,对实验数据进行了比较研究,分析出了几种融合方法的差异.研究表明,一些传统的融合方法如PCA变换和IHS变换已不适用于QuickBird这种高分辨率影像的融合,而基于小波的PCA变换、小波变换以及HPF变换在实验中有较好的表现.本次实验也为其它高分辨率卫星遥感影像的融合工作提供了参考. 相似文献