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采用射频磁控溅射技术在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了掺镧钛酸铅(PLT)铁电薄膜.用X射线衍射技术(XRD)研究了PLT薄膜结晶性能,结果表明PLT薄膜为 (111)择优取向钙钛矿相织构.使用原子力显微镜(AFM)和压电响应力显微镜(PFM) 分别观察了PLT薄膜的表面形貌和对应区域的电畴结构.PFM观察显示PLT薄膜中存在90°纳米带状畴,电畴的极化为首尾相接的低能量的排列方式,带状畴的宽度为20—60nm.研究了PLT10铁电薄膜的制备条件与性能之间的关系.发现在优化条件下制备的PLT10铁电薄膜的介电常数εr为365、介电损耗tgδ为0.02,热释电系数γ为2.18×10-8C·(cm2·K)-1,可以满足制备非制冷红外探测器的需要.
关键词:
PLT薄膜
电畴
PFM
极化 相似文献
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催化剂原料高岭土的XRF分析 总被引:4,自引:0,他引:4
本文拟定了X-射线荧光分析催化剂原料高岭土中Al2O3、SiO2和杂质成分的方法。根据精矿中分析元素含量范围和基体效应的估计,分别合成了Al2O3-SiO2二元系和含所有杂质成分的两套标准系列,测定烧失量后的粉末样品。用本文改进的少量粉末样品备法压片,各组分含量由校正曲线直接求取而不需基体校正。与溶片法相比,本法不仅在溶剂杂质和稀释比高岭土精矿中微量成分测定的影响。 相似文献
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