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51.
一种基于SPLAT的离轴照明成像算法的研究与实现   总被引:2,自引:0,他引:2  
如何提高光刻的分辨率巳成为超深亚微米集成电路设计和制造的关键技术。文章简要介绍了分辨率提高技术之一的离轴照明的原理及其构造形式,介绍了部分相干的二维透射系统的仿真程度SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实际开发光学邻近校正(OPC,Optical Proximity Correction)仿真工具增加了新的功能。  相似文献   
52.
合成所得双(N-氧化吡啶-2-甲醛)缩1,2-丙二胺的镍(Ⅱ)配合物[Ni(piopn)(H_2O)_2](ClO_4)_2的晶体属空间群C_?~4-C_c,晶胞参数α=7.397(3)A,b=13.187(7)A,c=25.502(14)A,β=102.18(4)°. 用分子轨道理论的近似方法分析了该配合物的电子结构和分子轨道,探讨了分子的结构特征与红外光谱的关系。  相似文献   
53.
测定了1,4-二哌啶基-2,3-二(4-甲基苯基)-2,3-丁二醇(dl)的晶体结构,并在此基础上用半经验分子轨道理论方法研究了该分子的电子结构,讨论了分子结构的一些特征。  相似文献   
54.
合成了N-氧化吡啶 -2-甲醛缩氨基硫脲的双核铜配合物。晶体结构的测定表明两Cu原子之间是通过两个单原子氧桥相联, 每个桥联氧原子既处于一个Cu原子为中心的四方锥底面, 又是另一个Cu原子四方锥的锥顶。晶体属单斜晶系, 空间群为Ce, 晶体结构参数为a=16.445,b=13.889,c=12.770A,β=122.82°。根据半经验MO法的计算结果, 指出了红外谱中N-O键和C=N 键特征峰朝不同方向位移的原因, 并对磁偶合常数作了估计。  相似文献   
55.
熵与混乱度     
十八世纪末到十九世纪初,随着蒸气机的发明,工业生产迅速发展起来。人们开始研究如何充分利用热能来推动机器做功。能量互相转换的等当量实验奠定了热力学第一定律,它排除了人们想制造第一种永动机的幻想。但是可以利用的能量必须以功的形式出现,因此就提出了问题:是否可以把全部热量都转化为功而使能量的利用效率达到最充分呢?对热机的理论研究打破了这种幻想。它指出热功转化中存在着一定的方向性,即热不可能全部转化为功,除非在环境  相似文献   
56.
合成了吡唑-3,5-二(N-烷基甲酰胺)(LH3)的一系列配合物:(LH2)2Cu2(NO3)2·H2O,L2Cu2Na2·nH2O。得到了(PEAH2)2Cu2(NO3)相似文献   
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