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纳米晶SnO2透明导电薄膜的研制 总被引:3,自引:1,他引:2
阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景。介绍了采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O 相似文献
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