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51.
52.
极紫外投影光刻光学系统 总被引:1,自引:0,他引:1
极紫外光刻(EUVL)是半导体工业实现32~16nm技术节点的候选技术,而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件,它主要由照明系统和微缩投影物镜组成。本文介绍了国内外现有的EUVL实验样机及其系统参数特性;总结了EUVL光学系统设计原则,分别综述了EUVL投影光学系统和照明光学系统的设计要求;描述了EUVL投影曝光系统及照明系统的设计方法;重点讨论了适用于22nm节点的EUVL非球面六镜投影光学系统,指出了改善EUVL照明均匀性的方法。 相似文献
53.
研究了Banach空间中两个不同渐近demi-压缩映射的Ishikawa迭代过程,给出了此Ishikawa迭代序列收敛的充要条件.推广了以前的结论. 相似文献
54.
本文第一部分讨论了正则函数的{\small Cauchy}型积分算子$T[f]$的{\small H\"{o}lder}连续性及此积分算子$T[f]$的范数与$f$的范数之间的关系.第二部分引入了修正的Cauchy型积分算子$\small \widetilde{T}$,首先利用压缩映射原理证明了$\small \widetilde{T}$算子具有不动点,然后给出了其不动点的迭代序列并证明了此序列强收敛于$\small \widetilde{T}$算子的不动点. 相似文献
55.
搅拌棒吸附萃取-气相色谱-质谱法测定化妆水中多氯联苯 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了搅拌棒吸附萃取(SRAE)-气相色谱-质谱法测定化妆水中7种多氯联苯含量的方法。采用正交试验方法研究了萃取时间、分散剂种类及体积、热脱附时间及冷阱收集温度对萃取效率的影响。分析中采用DB-5MS毛细管色谱柱作为分离柱,质谱条件为电子轰击电离源全扫描监测模式。7种多氯联苯的峰面积与其质量分数在一定范围内呈线性关系,测定下限(10S/N)在5~60ng.kg-1之间。分别在3个浓度水平对方法的回收率和精密度进行了试验,测得回收率在74%~107%之间,测定值的相对标准偏差(n=6)在1.1%~16.9%之间。 相似文献
56.
研究了基于腔量子电动力学(腔QED)系统的几何量子失谐及其传送。该系统包括两个独立的子系统,每个子系统由两个二能级原子与单模腔共振相互作用。结果表明,所有初始存储在原子A1A2中的几何量子失谐最终被转移到原子B1B2和腔C1C2。同时,原子A1A2 ,B1B2和腔C1C2的几何量子失谐在该量子系统中可以发生猝死(DSD)以及纠缠突然死亡(ESD)。但是,在该量子系统中几何量子失谐不能完全由于原子的自发辐射和腔衰减而复活。此外,原子A1A2 ,B1B2和腔C1C2几何量子失谐的量,取决于其纯度p,并与其成比例,p的值越小,几何失谐越小。它也表明,在原子自发辐射和腔衰减的情况下,原子A1A2 ,B1B2和腔C1C2的几何量子失谐将经历振荡衰减并最终衰减到零。不过,在没有原子自发辐射和腔衰减的情况下,原子A1A2 ,B1B2和腔C1C2的几何量子失谐却没有衰减。 相似文献
57.
内窥镜电子图像信息系统是由成熟的光纤内窥镜制作技术与电子技术相结合的微型摄像系统。本文介绍了该系统的发展史、结构原理、性能及发展前景。 相似文献
58.
南阳电视台使用的两部CSD—I—IV1kW分米波电视发射机末级均使用FC—735F电子管。腔体结构复杂,受机房环境的制约,风温、滤尘得不到很好的控制,经常造成腔体打火、阴流过荷、断高压停播,使电子管寿命缩短。近几年,我们结合工作实践,摸索出一套自行拆解735腔体的方法,并对其略做改进,取得了较好的效果。 相似文献
59.
一种迭代加权最小二乘旁瓣抑制滤波器设计 总被引:3,自引:0,他引:3
二相码信号是一类常见的脉冲编码信号,但码较短时,匹配滤波的主副比不高,需要采用旁瓣抑制技术. 通过迭代加权最小二乘算法对旁瓣抑制滤波器的最小二乘解进行优化,选择合适的终止条件,只需几步就能达到最优解. 分析该算法应用于m序列需要满足的条件,及PSL、ISL与滤波器长度的关系,并给出计算机仿真结果. 相似文献
60.
干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计。在此基础上针对检测框架在随机振动下的稳定性问题,建立了检测框架的有限元模型,以实际测量的随机振动速度功率谱密度(PSD)为激励,运用ANSYS有限元分析软件中的随机振动分析模块,对该结构的随机振动响应进行了分析计算。通过分析计算得出测量框架在随机振动下的稳定性为0.5144 nm,实验测量出5 s内的稳定性为0.653 nm,二者基本吻合。分析表明,测量框架的结构设计以及振动环境满足稳定性的指标要求。 相似文献