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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
3.
化学吸收法是碳捕集技术中最为成熟的技术之一,单乙醇胺(MEA)是最常用的化学吸收剂.然而由于MEA的解吸能耗较高,造成CO_2捕集成本居高不下.本文提出了一种利用盐析效应开发新型CO_2相变化吸收剂的方法,并开发了吸收剂组成为"MEA+叔丁醇+水"的新型CO_2相变化吸收剂.实验考察了不同配比下吸收剂的分相情况、循环负载量以及吸收剂的物理性质,并用气相容积法测定了40℃、0~0.5 MPa下,CO_2在相变化吸收剂中的溶解度.研究表明,MEA/叔丁醇相变化吸收剂的循环负载量最高为2.84 mol CO_2/kg,相比于30%MEA水溶液提高了40%,进入解吸塔的吸收剂体积降低了65%,有望大幅降低CO_2捕集能耗. 相似文献
4.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
5.
脉冲放电等离子体烟气治理技术具有流程简单,一次投资成本低,无二次污染,可同时脱硫脱硝,形成的副产物可回收利用等特点。 相似文献
6.
Polarization spectra of rubidium atoms were investigated with different uncrossed angles between the polarizer and the analyzer. The variation of the spectra was derived theoretically as a function of arbitrary angle, and measured experimentally for different angles. The spectral profile of D2 line of rubidium was further used to stabilize the frequency of a diode laser. It was demonstrated that the laser linewidth was reduced to 2 MHz. 相似文献
7.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
8.
9.
基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号.
关键词:
夸克-胶子物质
双轻子增强
相对论流体力学模型 相似文献
10.
首先运用模糊评价方法结合中小企业选择信用担保机构现状,构建了当前我国信用担保机构5种标准信用等级的模糊向量,然后在此基础上采用“择近原则”得到m个等待选择的信用机构所处于的最为“贴近”的标准信用等级,从而为我国中小企业选择可靠信用担保机构提供了一种新的量化方法。 相似文献