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本文采用金属剥离技术在LiNbO3基片上成功地制备了140MHz声表面波带通滤波器。通过选择最佳工艺参数,提高了声表面波滤波器的性能。 相似文献
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本文研究了在热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,基片表面的研磨处理对金刚石成核密度以及生长膜结构的影响。发现基片表面的预处理一方面可以提高金刚石的成核密度,另一方面又使生长膜的结构变得不利于应用。最后讨论了基片表面预处理对金刚石成核作用的机理和两种新的表面预处理方法。 相似文献
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HFCVD方法沉积金刚石薄膜的生长研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文讨论了金刚石薄膜应用于光学领域所偶到的问题,研究了热丝方法生长应用于光学膜的金刚石薄膜过程中,衬底表面的预处理和沉积条件如碳源浓度、衬底温度等对制备膜晶粒尺度和晶粒间界以及膜表面形貌的影响。 相似文献
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本文介绍了在普通扬声器上涂覆DLC膜的工艺,并测试了其性能,结果表明DLC膜对扬声器的性能有明显改善。 相似文献
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本工作采用HFCVD方法在Si、Mo衬底上生长出不同晶粒形貌的多晶金刚石薄膜,研究了生长条件(衬底温度、碳源浓度、反应压强)对金刚石薄膜晶粒形貌的影响。结果表明,在HFCVD方法中,金刚石薄膜晶粒形貌对生长条件十分敏感,生长条件的变化会导致不同形貌晶粒的生长。 相似文献
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本文以甲苯为工作气体,采用rfPCVD方法在各种衬底上制备出DLC膜,研究了Al-DLC-Si结构的高频C-V特性,以及作为半导体器件的表面钝化膜的应用。 相似文献