一种新型的全局互连结构及其加工方法

随着特征尺寸的缩小,互连成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素.为了降低互连延迟,提出了一种全新的全局互连结构,即利用掩膜电镀和CMP技术形成三维的铜互连结构,再利用牺牲层技术将三维结构镂空,得到悬空的全局互连结构.该结构可大大地降低全局互连对延迟的影响.     

SU-8胶及其在MEMS中的应用

SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构.SU-8胶在近紫外光范围内光吸收度低,故整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性; SU-8胶不导电,在电镀时可以直接作为绝缘体使用.由于它具有较多优点,被逐渐应用于MEMS的多个研究领域.本文主要分析SU-8胶的特点,介绍其在MEMS的一些主要应用,总结了我们研究的经验,以及面临的一些问题,并对厚胶技术在我国的应用提出建议和意见.     

商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究

研究应用O2反应离子刻蚀(RIE)直接深刻蚀商用有机玻璃(PMMA)片，以实现微结构的三维微加工，工艺简单，加工成本较低，为微器件的高深宽比加工提出了新方法。试样采用Ni作掩膜，以普通的光刻胶曝光技术和湿法刻蚀法将Ni掩膜图形化。工作气压、刻蚀功率等工艺参数对刻蚀速率影响较大。在刻蚀过程中，掩膜上的金属粒子会被刻蚀气体离子轰击而溅射散落出来，形成微掩膜效应。利用这种RIE技术，在适当的溅射功率及气压下，刻蚀速率较快，且获得了较陡直的微结构图形，刻蚀深度达120μm。     

CTA季铵化壳聚糖合成条件的优化及其结构表征

以3-氯-2-羟丙基三甲基氯化铵(CTA)为改性剂,在碱性条件下制备了水溶性壳聚糖季铵盐,并以该产物对Cr2O7^2-的絮凝去除率为基准优化了合成条件,用IR和^1H-NMR表征了产物结构。结果表明,优化的合成条件为：反应时间为10．0h,温度为65．0℃,mNaOH／mCTS=1．0,mCTA／mCTS=4．0。在此条件下合成的产物对Cr2O7^2-的最大去除率达94．39％,壳聚糖的季铵化反应主要发生于C2位的氨基上。     

冷冻靶中硅冷却臂的温度场和力学分析

冷冻靶是实现惯性约束聚变高能量增益的重要靶型。冷却臂是冷冻靶的重要部件之一,通过它将冷源与铝套筒相连接,用于获得靶丸内均匀氘氚冰层时所需的精确温度,同时冷却臂也用于均匀夹持铝套筒。首先测试分析了硅材料在深低温下的热传导系数,表明硅材料在该温区具有优异的热传导能力。研究了硅冷却臂结构参数对冷却臂温度场分布的影响。分析不同晶向硅冷却臂周向均匀夹持铝套筒的特性,提出基于(111)晶向硅片研制冷却臂。研究了冷却臂力臂夹持力和共振频率,并对硅冷却臂的热-结构耦合进行分析。最后设计具有16个夹持力臂的二级分叉结构的冷却臂。基于微电子机械系统技术研制了硅冷却臂样机,并测试了冷却臂的侧壁垂直度和力学特性。将研制的硅冷却臂与铝套筒进行装配,表明冷却臂中力臂的力学特性能够实现对套筒的夹持。     

稀土生物功能-植物＆微生物篇

稀土及其化合物早已被广泛应用于农业和医药业等生产实践中，多年的稀土生物无机化学研究表明：稀土元素能够增强植物光合作用，促进根系吸收，调节激素和氮代谢，抑制细菌繁殖等。稀土能够选择生物代谢中关键的生物分子的靶位点进行结合或取代反应，调控生物分子的功能和行为。从而在植物和微生物体内发挥了重要的生物学功能。然而，过量的稀土会对机体的生长带来不利的影响，为了在生产实践中更加科学和安全地应用稀土的生物功能，稀土最适剂量的探究及其在生物体内积累效应的研究将会是下个阶段的研究重点。     

微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究

采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。     

微弯曲面成型技术-多线成面技术

熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法，但是，一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小，为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺一多线成面技术。此方法工艺简单，一般具备光刻条件的实验室就能够实现，与传统工艺兼容性好，用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟，介绍了该工艺的原理和特点。     

高清摄像机拍摄前的准备及技术使用技巧

高清电视在我国已逐步普及,编导、摄像人员深入了解高清与标清拍摄的区别,对提高电视节目的质量有着深刻的意义;而高清摄像机使用的技术技巧,是我们提高电视画面质量的重要手段之一。本文阐述了高清摄像机调整的方法以及在聚焦、曝光、画面细节等方面调整的技术技巧,对高清节目的拍摄具有很大的参考价值。