相移点衍射干涉仪的关键技术研究

相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上,重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取得的成果。以关键技术研究为基础,开发了一套可见光波段的PS/PDI原理实验装置,并利用该装置检测了极紫外光刻中典型的Schwarzschild投影物镜的波像差,自主开发的20倍缩小Schwarzschild物镜的数值孔径达到了0.2。实验结果表明,干涉仪的重复对准精度优于0.1μm,波像差的绝对检测精度均方根(RMS)误差达到了0.025λ(λ为检查光波长),重复检测精度RMS优于0.001λ,检测速度达到了20秒/视场点。     

Synthesis, Crystal Structure and Properties of a Europium Complex with 3-Iodobenzoic Acid and 2,2'-Bipyridine

The complex [Eu(3-IBA)3·2,2'-bipy]2 was synthesized from 3-iodobenzoic acid (3-HIBA), 2,2'-bipyridine (2,2'-bipy) and EuCl3·6H2O by hydrothermal synthesis, and its crystal structure was determined by X-ray single-crystal diffraction. It is of triclinic, space group P1, with a = 10.958(2), b = 12.311(3), c = 12.556(3) A, α = 81.549(3), β = 82.404(4), γ = 78.348(3)°, Mr = 1049.15, V = 1631.7(6) 3, Z = 1, Dc = 2.135 g/cm3, F(000) = 980, λ(MoKα) = 0.71073 , μ(MoKα) = 4.804 mm-1, the final R = 0.0329 and wR = 0.0723 for 4640 observed reflections with I > 2σ(I). The Eu(Ⅲ) ion is eight-coordinated and two Eu(Ⅲ) ions are held together by four 3-iodobenzoate groups in the bidentate bridging mode. The complex was characterized by DTA-TG, IR, UV and fluorescence spectra.     

基于高能电子束曝光的相对论卢瑟福公式研究

高能电子运动速度较大,相对论效应很明显。传统的卢瑟福弹性散射公式是由非相对论的薛定谔波动方程得出的,在预言高能电子束曝光时,需要对其进行相对论修正。采用Born近似解相对论的Dirac方程,得到相对论修正的卢瑟福公式。计算元素Si、O、C、H的弹性散射截面和散射角,与修正前的计算结果进行比较,结果表明,当电子能量达到100keV时,其相对论效应已经很明显。     

下一代曝光（NGL）技术的现状和发展趋势

通过介绍光刻技术的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻技术的发展潜力和研究现状。通过比较几种具有较大潜力的NGL(浸没式ArF光刻机、极紫外光刻和电子束曝光)的特点、开发现状和有待解决的关键技术,预言将来可能是以极紫外光刻、电子束曝光和某种常规光刻机结合的方式来实现工业、前沿科学技术需要的各种微米／纳米级图形的制备。     

Ce：Fe：LiNbO_3在红光波段的光折变特性

研究了掺铈、铁ＬｉＮｂＯ３（简写为Ｃｅ：Ｆｅ：ＬＮ）晶体在６３３ｎｍ波段的光折变特性．其光折变灵敏度约为４００ｍＪ／ｃｍ２，指数增益系数约为４５ｃｍ－１。用该晶体记录的傅里叶变换全息图分辨率超过７０ｌｐ／ｍｍ。     

常压氦微波等离子体的获得及其光谱分析特性的初步研究

氦微波等离子体光源是迄今最强有力的光谱激发光源之一,也是唯一能使包括卤族元素在内的非金属元素有效地激发的实用光源。据报导,利用这种光源的发射光谱法对于非金属元素具有极高的测定灵敏度,其检测限一般可达10~(-11)—10~(-12)克,动态线性范围可达5—6个数量级。它还具有多元素同时分别检测的能力,因此如果与色谱仪相联,将可对各个组分加以鉴别,甚至直接求得其经验化学式,用它作环境样品中痕量有毒元素的形态分析也已取得了初步成功。但是,由于获得常压氦微波等离子体比较困难,这一技术在相当长一段时间內都未能得到推广应用。自从1976年C.I.M.Beenakker研制成功了可以容易地获得常压氦微波等离子体的圆柱形TM_(010)谐振腔之后,情况发生了很大变化,这一光源正越来越受到各国学者的重视。我国学者,特别是兰化所俞惟乐先生所领导的研究集体,自七十年代初就开始了这方面     

电力市场营销创新管理策略研究

随着社会经济的发展,电力市场改革步伐的不断加快,电力市场营销已成为了供电企业的一项核心业务,与供电企业的生存与发展有着直接的联系。所以,做好电力市场营销的创新管理,采取一定的策略,不断满足人们对于用电的需求和社会化发展的需要。本文从电力市场营销概述入手,简述了电力市场营销的创新理念和当前电力市场营销现状,重点分析了电力市场营销创新管理的策略,旨在为电力市场营销创新管理提供参考。     

50 nm分辨力极端紫外光刻物镜光学性能研究

极端紫外光刻 (EUVL)作为实现 10 0～ 32nm特征尺寸微细加工的优选技术 ,其光刻物镜的光学性能是实现高分辨图形制作的关键。利用光学设计软件CODEV对 6枚非球面反射镜构成的光刻物镜设计和光学性能分析 ,其分辨力可以实现 5 0nm ,曝光面积为 2 6mm× 1mm。结果表明 ,光学性能对曝光场点的依赖关系。在全曝光场中进行了光学性能分析 ,其最大畸变为 3.77nm ,最大波面差为 0 .0 31λ(均方根值 ) ,该缩小投影物镜完全可以满足下一代极端紫外光刻机的性能要求     

管内污垢监测模型研究

提出了一种基于质量传递理论的监测模型。它不但适应热质同时交换现象,还增加了对单纯质交换的适应性,并且避免了因温差描述产生污垢热阻为负值的特异现象。最后进行了相关正交实验,表明了该监测模型的合理性。     

含噪声包裹相位图的加权最小二乘相位展开算法研究

二维相位展开广泛应用在精密光学测量、自适应光学、合成孔径雷达、图像处理等领域中。为处理含噪声包裹相位图,以预条件共轭斜量法求解权重最小二乘相位展开方程。引入非加权二维离散余弦变换求解泊松方程得到的最小二乘相位解作为共轭斜量法的初始解,从而加快了收敛速度,同时提出一种新质量图确定算法求解过程中的权重项。计算机模拟和试验表明算法计算速度快,能有效地消除传统路径积分法在处理信噪比低包裹相位图时的"拉线"现象,是一种有效的相位展开方法。