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表面粗糙度测量的磁光位相调制和锁相干涉 总被引：1，自引：0，他引：1
提出了一种表面粗糙度测量的新方法，该方法采用了微分偏振干涉的原理，利用由法拉第磁光调制器所组成的调制系统对偏振干涉光路的位相进行调制，利用锁相干涉原理对位相进行探测，该方法可实现无参考面快速非接触测量，在普通实验条件下，也可保持良好的稳定恶性循环 ，实验装置即可给出表面的轮廓又可给出其它统计数据，其横向分辨率为１．２μｍ纵向为２ｎｍ。 相似文献
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1引言日本广播协会（NHK），开发并实际使用了新型调制方式的发射机技术（输出功率：100W和300W）-从数字音频信号直接得到调幅波（AM）。该系统是将12比特的数字音频信号分成6个组-用随每组数字音频数据波形而定的移相载波来驱动加权的功率放大器，然后将功率放大器的输出合成得到调幅波（AM）信号。这一系统最明显的特点是：功率放大器通过不断地开和关，使其以数字形式的输出与音频信号相一致。在理论上所需的功率放大器的数目为6组，模／数（AfD）转换之后，全部都是数字量信号起作用。鉴于以上所述，我们就能开发可靠和廉价的发射… 相似文献
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本文阐述了一种新型的Ｘ射线聚束装置─—Ｘ射线透镜的聚束原理。给出了透镜的基本设计方法，并对它应用于Ｘ射线光刻研究领域的前景作了展望。 相似文献
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