多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法

通过干法刻蚀,在Si衬底上制备出高深宽比的台阶结构是MEMS加工的基础工艺之一。多层台阶的刻蚀,是一种重要的折线断面制备方法,使实现结构更加复杂的器件成为可能。利用LPCVD生长1μm厚SiO2作为钝化层,围绕多层台阶掩膜的制备方法和移除方法展开实验,以3层台阶为例,开发出一套使用一块光刻版制造任意宽度的台阶掩膜的方法。该方法节约成本、操作简便、重复性好,为加工复杂的三维结构提供了一种新的手段。另外,针对在深刻蚀过程中残留的掩膜会破坏Si台阶完整性的问题,研究了刻蚀过程中SiO2掩膜的去除方法对台阶的表面形貌造成的影响。通过实验发现,采用干湿腐蚀结合的方法可以有效地去除台阶掩膜,获得良好的Si深台阶结构。     

同根同源，两岸共同推动中国软件行业发展——参加上海软件界赴台湾考察团有感

2009年11月下旬,上海市软件行业协会参加上海软件对外贸易联盟组织的上海软件界赴台湾考察团组,与上海中和软件、海隆软件、上海微创软件、启明软件、艾玛咨询、欧特克（中国）有限公司等6家单位一同来到祖国美丽的宝岛,与台湾财团法人资讯工业策进会、台湾资讯软件体协会和台湾产业软件价值链联盟面对面地进行了深入的交流,互相了解了两地业态的发展状况,并探讨了两地合作的新思路。     

在嵌入式Linux中实现TFTP Server

嵌入式系统和Linux的有机结合成为普遍的应用形式,随着应用范围的日益扩大,嵌入式Linux的应用越来越多。在介绍TFTP协议的工作原理之后详细描述了嵌入式TFTP服务器在Linux中的软件实现过程。     

在嵌入式Linux中实现TFTP Server

嵌入式系统和Linux的有机结合成为普遍的应用形式,随着应用范围的日益扩大,嵌入式Linux的应用越来越多.在介绍TFTP协议的工作原理之后详细描述了嵌入式TFTP服务器在Linux中的软件实现过程.     

光纤光栅传感的解调方法

介绍了光栅传感系统的组成,分析了常用的三种光源:LD、LED和掺铒光源的性能.描述了在光栅解调中常用的滤波法、干涉法、可调谐激光扫描法、啁啾光栅检测法、光栅色散法等几种信号解调技术并进行了简要的评述.     

条件接收系统的构成

在数字电视传输系统中,为了保障授权用户收看加密电视节目,采用了复杂的条件接收系统。条件接收系统通过多层加密机制,实现对密钥的分配与管理,文章介绍了信息数据加/解扰和加/解密、用户寻址、智能卡授权、节目管理等多项技术措施,详细描述了对公钥加密的RSA算法。     

PDA-TiO2杂化纳米粒子的制备及其防晒应用

采用溶胶凝胶法制备二氧化钛(TiO2)前驱体,将其与盐酸多巴胺共混后制备聚多巴胺-TiO2(PDA-TiO2)杂化纳米粒子.在PDA与TiO2的协同作用下,PDA-TiO2粒子具有高效的防紫外线性能.利用红外光谱、X射线光电子能谱、扫描电镜、透射电镜、紫外-可见光吸收光谱、热失重曲线以及皮肤渗透实验对纳米粒子的基本结构...     

非层状二维CdSe的制备及厚度对带隙的影响

二维半导体材料的天然带隙有望弥补石墨烯的零带隙缺陷,打破后者在场效应晶体管、开关器件、逻辑电路等领域的应用瓶颈.相较于层状半导体材料,非层状半导体材料多以较强的离子键/共价键结合,且各向同性,因此要获取其二维结构存在一定挑战.本论文通过化学气相沉积法实现了非层状Cd Se在云母衬底上的二维各向异性生长.详细表征了二维Cd Se的微观形貌、晶体结构和光学特性等.结果表明,样品具有显著的光致发光(PL)效应,说明厚度减薄至纳米级时不会破坏Cd Se的直接带隙属性.此外,随着厚度减小,样品的PL峰逐渐蓝移.为了进一步解释该现象,采用基于密度泛函理论的第一性原理计算方法,研究了不同厚度的Cd Se的能带结构,结果显示均为直接带隙,且随厚度减小,带隙值增大,与实验现象吻合.由此可知,通过生长参数调控二维Cd Se的厚度,即可实现对其带隙的有效调控,这对相关光电器件的性能提升具有指导意义.     

多元曲线分辨等方法和红外光谱用于二硝基五亚甲基四胺的合成反应机理研究

通过红外光谱在线监测强酸催化下硝酰胺、甲醛和氨水合成二硝基五亚甲基四胺(DPT)的反应过程, 利用渐进因子分析(EFA)、直观推导式演进特征投影法(HELP)和多元曲线分辨-交替最小二乘法(MCR-ALS)等化学计量学方法对反应过程获得的红外光谱信息进行解析, 得到了各组分纯物质的浓度变化曲线和对应的红外光谱, 并把多元曲线分辨-交替最小二乘法与直观推导式演进特征投影法的分析结果进行比较, 得出可相互验证的一致结论, 以此推测出该反应合理的反应机理. 化学计量学方法对在线红外光谱信息的分辨可以快速有效地反映DPT合成过程中各组分的浓度和红外光谱变化情况, 对其反应机理研究具有重要指导意义.     

固相萃取/超高压液相色谱测定水中痕量呋喃丹、甲萘威及阿特拉津

建立了固相萃取/超高压液相色谱测定水中痕量呋喃丹、甲萘威和阿特拉津的分析方法。通过对色谱流动相和紫外检测条件、固萃小柱和上样速度、滤器材质等进行优化,确定了最佳实验方案。水样以5～10 mL/min的速度上样,采用Bond Elute Plexa固相萃取小柱富集,二氯甲烷洗脱。洗脱液经浓缩和重溶后,过尼龙滤膜,采用超高压液相色谱分析,色谱柱为ACQUITY UPLC BEH C18(2.1 mm×50 mm,1.7μm),流动相为甲醇-水(55∶45),检测波长为222 nm,流速为0.4 mL/min。在优化条件下,1.5 min内可对3种化合物实现基线分离。呋喃丹、甲萘威和阿特拉津在0.1～2.0 mg/L范围内的线性系数均大于0.999,其仪器精密度(n=9)分别为1.7%、0.2%和0.7%,方法检出限(S/N=3)分别为0.04、0.003、0.004μg/L。在高、低水平加标浓度下,方法回收率为74%～94%。该方法具有分析速度快、操作简单和检出限低等优点,可用于同时分析水体中痕量的呋喃丹、甲萘威和阿特拉津。