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CrNx 薄膜具有很高的硬度和耐磨性 ,其高温抗氧化性和耐腐蚀性优良 ,不但可作为耐磨涂层用于工模具和切削工具的表面强化 ,而且在表面防腐和装饰等许多工业领域也有重要用途[1] 。同已经得到广泛工业应用的TiN薄膜相比 ,CrNx 薄膜的硬度更高 ,而且具有比TiN更好的耐腐蚀性能[2 ] 。CrNx 薄膜溅射产额比较高 ,有利于大批量的工业生产 ,更具有实用价值[3 ] 。CrNx 薄膜采用SPC 35 0多功能磁控溅射仪制备。在射频阴极 (r .f.)上安装纯Cr靶 (99 99% )作为溅射材料 ,高速钢基片经 1μm金刚石研磨膏抛光后 ,用丙酮… 相似文献
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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明,李志能,陈秀峰(浙江大学信息与电子工程学系)关键词:真空微电子,反应离子刻蚀一、引言近十年来,随着真空微电子学的崛起,利用微细加工技术,使真空元器件集成化和高性能化已成为可能,一种新型场致发射阵列真空荧光平... 相似文献
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模拟数字信道中产生符合Poisson分布误码的方法 总被引:3,自引:0,他引:3
按照Poisson分布的一般特性,对信道中的产生满足该分布的误码数学模型进行了分析,着重在该基础上提出了几种实用的模拟这种误码产生的方法,并对其加以比较。 相似文献
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小型电视台视频制作设备的合理选择山西省临县组织部电教中心李探照随着我国经济的快速发展,各地方办的电视台、教育电视台、有线电视台等小型电视台如雨后春笋般出现在华夏大地上。这些小型电视台既缺乏雄厚的资金实力,又缺乏专业视频技术人才,在购置节目制作设备时,... 相似文献
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关于一类二次哈密尔顿系统在二次扰动下的极限环个数问题 总被引:2,自引:0,他引:2
本文研究了一类具有两个鞍点和一个中心的通用二次哈密尔顿向量场在二次扰动下的三参数开折,证明极限环的最小上界为2。 相似文献
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本文介绍在体系结构和功能上截然不同的两大类智能网--基于电信网的智能网和基于计算机网的智能网。论述它们的体系结构和功能及其开发研究。 相似文献
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