高散热变k介质埋层SOI高压功率器件

针对常规SOI器件纵向耐压低和自热效应两个主要问题,提出了变k介质埋层SOI(variable k dielectric buried layer SOI,VkD SOI)高压功率器件新结构.该结构在高电场的漏端采用低k介质以增强埋层电场,在高电流密度的源端附近采用高热导率的氮化硅埋层,从而器件兼具耐高压和降低自热效应的优点.结果表明,对于k1=2,k2=7.5(Si3N4),漂移区厚2μm,埋层厚1μm的器件,埋层电场和器件耐压分别达212V/μm和255V,比相同厚度的常规SOI器件的埋层电场和耐压分别提高66%和43%,最高温度降低52%.     

放电激励产生单重态氧的实验研究

对射频放电产生单重态氧进行了实验研究,在不同掺杂物种、不同电极间距、不同稀释配比的情况下,研究了单重态氧相对产率的变化规律,分析了单位氧流量注入能量对单重态氧产率和电效率的影响。实验表明,NO和Hg蒸气的加入,使放电产生单重态氧的相对产率都有显著的提高。随着电极间距的缩小,可以实现高气压工作,放电总压可以达到22.6 kPa,氧气分压超过了4.0 kPa,产率方面也有大幅度提高。单位氧流量注入能量在150~400 J/mmol时,单重态氧产率比较高;电效率较高的区域对应的单位氧流量注入能量在150 J/mmol左右。     

多模光纤中宽带非线性散射谱的产生

本文利用声光调Q Nd:YAG激光器的1.06μm输出作为泵浦源,在低损耗多模光纤中获得光谱范围从0.8到1.9μm以上的宽带非线性散射谱。分析表明,宽带散射是由受激Raman散射和四波混频过程产生的。光纤的损耗谱使各级Stokes频移发生改变,这种“频移效应”因长的作用距离及宽的Raman增益而在玻璃光纤中变得显著。     

典型卫星表面材料近红外偏振特性分析

为了表征典型卫星表面材料的近红外偏振特性,基于微面元模型并综合考虑镜面散射及漫散射来描述目标表面的反射特性,引入镜面系数及漫反射率来明确两种反射对偏振度的影响,并考虑实际粗糙材料表面存在的遮蔽效应,建立一种更完善的多参量偏振双向反射分布函数模型,进而推导出适用于粗糙材料表面的光学反射偏振度表达式.对典型卫星表面材料进行近红外偏振实验,采用遗传算法从实验数据中反演卫星表面材料的多参量数值,进而得到偏振信息仿真曲线.结果 表明,该多参量偏振双向反射分布函数的仿真值与实验测试值能够较好的吻合,不同卫星表面材料的近红外偏振特性有较大分布差异.     

Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量Air Plasma电压水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。     

高重复率TEA CO2激光器放电特性研究

本文介绍一种用于TEA CO2激光器的倍压电路和放电过程，对放电参数作了理论计算，给出了激光器运转时的E/N值和气体放电的电阻特性，并将理论模型与实验结果作了比较。     

哈特曼法像差自动测量系统图像处理算法的研究

为了解决基于哈特曼法自动测量像差所面对的CCD图像传感和数字图像处理技术,提出了哈特曼光阑图像在存储器中目标的识别与测量的图像映像区搜索算法和哈特曼光阑图像中光斑距离测量的中心重叠算法。图像映像区搜索算法解决了如何在一维图像存储器中准确地寻找二维图像目标,找到目标之后如何进行有关的目标计算的技术。理论分析和实验表明利用所有光斑的质心求解哈特曼光阑图像的重心,再由光斑质心关于光阑图像重心的对称性确定光斑质心距离的中心重叠算法增加7算法可计算性和减少了计算次数,大大降低了算法的时间复杂度和计算复杂度。     

基于单片机的智能输液监控系统的设计与实现

随着我国社会经济水平不断提升,我国科学技术随之快速发展,临床医疗技术水平快速上升,为改善我国医院传统输液体系的非智能化,临床医疗开始投入使用基于单片机的智能输液监控系统的高智能化输液装置,智能输液监控系统中的核心由控制步进电机组成,接口处设计的液体输入及功能显示由8279实现,并采用两个LED灯作为智能输液监控系统出错时的报警显示.此外,通过改进现行总线技术,实现单片机的高效通信功能.本组实验中通过智能输液监控系统实现自动控制输液速度和输液量,将输液速度误差控制在5%以内,输液量误差控制在5%以内,降低成本支出的同时有效实现输液装置的简单实用功能,为临床护士护理工作和主治医生的治疗工作提供科学根据和可靠的输液护理数据,一种基于单片机的智能输液装置监控系统被广泛应用于临床输液工作当中.     

基于模糊空间非标准分的模糊神经控制

提出一种基于模糊空间非标准划分的模糊神经控制方法。该方法克服了基于模糊空间划分（网格状划分）的模糊子空间急剧增加（指数增长）的弊病,减少了计算负担。并通过对倒立摆控制的仿真研究说明了所提方法的有效性。     

用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究

为了改善薄膜太阳电池表面抗反射特性,提高其对光的吸收率,在玻璃基体上制备了一种新的微纳抗反射结构,即微半球孔阵列,其周期约为10μm、深度约5μm。测试了微半球孔阵列结构的光学特性,得到这种结构的平均反射率约为1.7%,同平板无结构的玻璃相比,平均反射率降低了约6%。由测试结果可知,微半球孔阵列结构的抗反射性能得到改善,增强了薄膜太阳电池对光的捕获能力。采用紫外光刻、离子束刻蚀与湿法刻蚀相结合的工艺,整个制备工艺较简单,成本低廉,可以实现大面积应用。