用于LDD和SST的SiO2边墙干法腐蚀工艺研究

本文从干法腐蚀角度出发,首先从数学上分析了多晶硅角度,SiO_2边墙的宽度和高度,衬底损失与各工艺参数间的关系,指出边墙的宽度和高度分别取决于多晶硅的角度和过腐蚀量。在Tegal1512e设备上,采用Cl_2、SF_6、N_2混合气体,开发了多晶硅干法腐蚀工艺,讨论了LDD的正胶掩膜及SST的SiO_2掩膜对工艺的不同影响。SEM分析发现了SF_6气体腐蚀的各向同性。在Tegal903e设备上,采用CHF_3、SF_6、He混合气体,开发了SiO_2边墙干法腐蚀工艺,研究了腐蚀的各向异性,辐射损伤,选择比,均匀性及重复性的控制方法。取得的工艺结果为,腐蚀速率(?)_(sio_2)≈400nm/min,均匀性U≤±5％,选择比S_(f8)>10,工序能力指数C_p>1。     

电除尘器的PLC控制软件应具有的一些功能

分析了影响电除尘器除尘效率的几个因素后,阐述了PLC控制系统应具有的一些功能,可作为编写这类软件的参考。     

多畴STN—LCD的研究

本文用光学模拟计算方法研究了多畴及无序ＳＴＮ－ＬＣＤ的电光特性。从光学角度而言，试图制造无序ＳＴＮ－ＬＣＤ的努力是没有意义的。无论对正性还是对负性显示模式，多畴ＳＴＮ单位象元的畴数量不应超过四个。具有２或４畴的ＳＴＮ－ＬＣＤ确实能够提高视角的均匀性，特别是４畴器件可以获得非常好的视角均匀性，具有一定的研究和开发意义。     

Adams完备化与局部化的等价性

本文在一般的范畴上考虑了幂等对与Ａｄａｍｓ完备化的关系，证明了它们是等价的     

坚定不移走民族软件产业发展之路

我就在国外软件大举进入中国市场情况下,中国软件产业命运如何谈谈看法。 首先,我想举一个例子。土豆和西红柿都是从西方引进的。但西方人用土豆做薯条,用土豆和西红柿做沙拉。而中国人用土豆做麻辣土豆丝,用西红柿做西红柿炒鸡蛋。就连外国人也觉得西红柿炒鸡蛋好吃。根据这个道理,我认为,中文软件平台在软件的发展史上生命力是极强的。     

Langford系统Hopf分叉的线性反馈控制

分析Langford系统的Hopf分叉现象，并研究采用线性反馈控制方法控制该系统的Hopf分叉.从理论上推导出受控系统产生Hopf分叉的条件，给出了某些极限环的解析表达式，对该系统进行了分叉点的转移与极限环的稳定性控制.数值模拟说明本文采用的方法对Langford系统的Hopf分叉控制是有效的. 关键词： Langford系统 反馈控制 Hopf分叉 极限环     

用于移动计算环境的口令认证协议研究

利用IC（integrated circuit）卡、RSA密码体制以及离散对数，设计了一种适用于移动计算环境的口令认证协议。在服务器侧无需保存验证表，增强了系统的安全性。为了适应移动计算环境中终端计算能力较弱以及无线带宽相对较窄的特点，该协议在无线信道上只需一次认证消息交互。并且，用户在修改密码的时候无需网络侧服务器的参与，在本地终端即可独立完成。利用M／G／1／N排队模型分析协议性能并与TLS（transport layer security）协议比较。     

基于段流行度的移动流媒体代理服务器缓存算法

提出了一种基于段流行度的移动流媒体代理服务器缓存算法P2CAS2M2(proxy caching algorithm based on segment popularity for mobile streaming media),根据移动流媒体对象段的流行度,实现了代理服务器缓存的接纳和替换,使移动流媒体对象在代理服务器中缓存的数据量和其流行度成正比,并且根据客户平均访问时间动态决定该对象缓存窗口大小。仿真结果表明,对于代理服务器缓存大小的变化,P2CAS2M2比A2LS(adaptive and lazy segmentation algorithm)具有更好的适应性,在缓存空间相同的情况下,能够得到更大的被缓存流媒体对象的平均数,更小的被延迟的初始请求率,降低了启动延时,而字节命中率接近甚至超过A2LS。     

AlN陶瓷与无氧铜的活性封接

采用Ag-Cu-Ti活性钎料对AlN陶瓷与无氧铜进行了钎焊。通过对焊接件气密性的测试、陶瓷/金属结合界面的微观分析以及界面化学反应的热力学计算,得出以下结论:Ag-Cu-Ti2.0钎料可以实现AlN与无氧铜的气密封接,漏气速率Q<10×10-8Pa.L/s;钎料与陶瓷界面存在一定厚度的化学反应区,反应产物主要是TiN。     

Structural Change in Au^3＋-Doped BK7 Glass Irradiated by Femtosecond Laser

We report on structural change in an Au^3＋-doped BK7 glass irradiated by an infrared femtosecond laser at 800 nm. A grating structure is inscribed in the glass sample. The glass sample is then annealed at various temperatures. Structural change of the grating is observed by an optical microscope. Absorption spectra indicate that colour centres are induced after the laser irradiation, and they decrease with increasing annealing temperature. Au nanoparticles are precipitated at high temperatures （≥ 600℃）. The mechanisms of the phenomena are discussed.