反应离子束刻蚀应用于光刻胶灰化技术研究

以AZl500光刻胶为例，将氧气作为工作气体的反应离子束刻蚀工艺用于光刻胶图形的灰化处理，以去除经紫外曝光-显影后光栅中的残余光刻胶。研究结果表明灰化速率有随束流密度呈线性增加的趋势。经过反应离子束刻蚀后，光栅槽底残余光刻胶被去除干净，同时线条的宽度变细，在一定程度上达到修正光刻胶光栅线条占空比的目的。用原子力显微镜检测，无光刻胶的K9基片表面在灰化工艺前后其粗糙度无明显变化。该工艺具有良好的可控性，解决了在厚基片上制作大口径衍射光学元件时残余光刻胶的去除问题。     

多重散射展开方法应用于正电子-氢原子的弹性散射角分布的计算

将文献[1]提出的多重散射展开方法用来计算正电子-氢原子的弹性散射角分布。对结果作了讨论,并与其他作者的结果作了比较。结果表明,多重散射展开方法的数值计算相当简单,而精确度又与其它较为复杂的方法相当。     

掺入InN生长低缺陷InSb单晶

用切克劳斯基法,掺入InN可以生长出低缺陷InSb单晶。通过腐蚀观察对掺入InN的InSb晶体进行了研究,并与未掺杂的晶体做了对比分析。当掺杂量超过1.5×10~(17)厘米~(-3)时,发现穿透缺陷和碟形缺陷显著减少。已用这种晶体制备了高质量的光导红外探测器。     

平面变形距光栅(VLS)的基本原理与线距修正系数的检测

变线距光栅是一种自消部分相差的光学元件.本文提出了用激光束检测变线系数的理论模型.计算表明变线距光栅的衍射波与平面波的干涉条纹可以用于检测变线距系数.     

高、标清环境下的系统控制与关键技术问题的几点思考

最近电视台高、标清同播常用的三种幅形变换主要有以下三种：高清制作以4：3构图,两侧切边,下变换成标清输出,示例如图1所示;     

毛细管电泳-间接化学发光法检测尿液与血液中吗啡含量

在碱性溶液中,吗啡对Ag(Ⅲ)配合物-鲁米诺化学发光体系的化学发光信号有显著抑制作用,且抑制程度与吗啡浓度成正比。基于此,建立了毛细管电泳-间接化学发光检测尿液和血液中吗啡含量的方法。在优化条件下,方法检出限为0.75 mg/L,线性范围为2.0~30.0 mg/L,相关系数(r)为0.999 8;对20mg/L的吗啡进行7次平行测定,测得的相对标准偏差(RSD)为2.0%。结合固相萃取法,该方法成功用于尿液和血液中吗啡含量的测定,平均加标回收率分别为109.0%与101.3%。该方法分辨率高、灵敏、分析成本低,可用于尿液和血液中吗啡含量的测定。     

生物分子的毛细管电泳-化学发光检测法研究

根据某些氨基酸和蛋白质在碱性条件下具有能显著增强鲁米诺-铁氰化钾体系化学发光信号的特性,对毛细管电泳-化学发光法直接分离测定生物分子的可行性进行了研究.电泳所用缓冲溶液为2.5 mmol/L、含2.0 mmol/L鲁米诺的硼砂缓冲溶液;氧化试剂为2.0×10-4 mol/L铁氰化钾.在优化条件下,L-精氨酸和胃蛋白酶可直接实现分离,其检出限(S/N=3)分别为1.3×10-4 mol/L和7.1×10-7 mol/L.通过对市售的3种L-精氨酸标准样品进行分离分析研究,证明该方法可应用于L-精氨酸标准样品的纯度分析.     

软X射线透射光栅支撑结构的制作工艺研究

在简述软X射线的自支撑透射光栅制作工艺的基础上,重点研究支撑结构制作中的紫外光刻和电镀两步工艺,紫外光刻中的菲涅耳衍射会造成光刻胶不能显影到底或起保护作用的光刻胶面积减小,厚度减薄,比较了两个不同电镀条件下的电镀实验结果,结果表明低的温度和电流密度（40℃,1.5mA/cm^2)下的镀膜致密,光滑,应力小,对光栅结构无任何影响,高的温度和电流密度（47℃,5.6mA/cm^2)下的镀膜相对粗糙,应力大,造成光栅线条的扭曲,并拢,甚至拉断光栅线条。