提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法

采用HPM溶液（盐酸、双氧水和去离子水的混合液）结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物; 再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除。经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95%以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6 J/cm2 (1053 nm, 10 ps)。实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值。     

弯月面涂胶均匀性改进

针对大面积衍射光学元件制作过程中对光刻胶均匀涂覆的困难,研究弯月面均匀涂胶方法。利用沟槽型弯月面涂胶机,分析影响光刻胶厚度和厚度均匀性的因素。从实验上验证了光刻胶的胶厚和涂覆扫描速率的正相关关系。分析了光刻胶的浓度、基片与涂覆器刀口间隙、供胶速率等因素对胶厚及胶厚均匀性的影响。利用非接触式的激光微位移传感器监测基片和涂覆器刀口间隙,控制此间隙的抖动小于15 m,优化系统运行的稳定性,提升了弯月面涂覆胶厚的均匀性,实现了胶厚峰谷值偏差3%和标准偏差0.5%的均匀光刻胶涂覆,能够满足脉宽压缩光栅等制作过程中对光刻胶均匀涂覆的需求。     

X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究

用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上的形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形,通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上,完成元件的制作,给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果,测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲涅耳元件。     

宽带镀金正弦光栅

为了满足强激光系统中大尺寸镀金光栅对糟深均匀性的要求,采用梯形光栅-涂胶-离子束溅射镀膜和全息光刻-离子束溅射镀膜两种方法,分别制作了线密度为1 740线/mm,槽深为210 nm的宽带镀金正弦光栅.测得其TM波、-1级自准值平均衍射效率在750～850 nm范围内大于87％,最高可达90％.这两种方法易控制光栅槽深,去掉光刻胶后基底可继续使用,且制作的光栅的衍射效率和带宽能满足国内一般宽带镀金脉冲压缩光栅的使用要求.     

焦载热气化燃煤联合循环系统的数学模型研究

１焦载热燃煤联合循环系统简介中国能源工业以煤炭为主的格局,决定了能源发展及可持续发展战略必须立足于“煤的高效及清洁燃烧技术”。在这一方面,燃煤的联合循环技术最具潜力;它能大幅度地提高发电厂的热效率,并使污染问题得到解决。清华大学近年来一直致力于这方面的工作。１９９２年,清华大学申报了差速循环流化床和飞灰造粒回燃两项专利,同时对载热气化技术进行了深入地研究。在以上工作基础上,提出了一种易于实现的新型燃煤联合循环发电技术：载热部分气化联合循环技术,并于同年申报了专利。该系统［１－２］采用高温颗粒流动…     

复数幻方的构造

1988年,李立提出并构造了4n阶全对称幻方,本文以4阶最完美幻方为基础,利用16次复数单位根的对数替换4阶最完美幻方中的自然数,且构造新的复数方阵,并证明是复数意义上的非正规最完美幻方.然后进一步推广给出构造任意n阶复数幻方的方法.     

软X射线多缝干涉实验研究

采用菲涅耳波带板作为色散元件，小孔压缩线宽的方法，在合肥国家同步辐射实验室在水窗波段完成了一个多缝干涉实验，观察到清晰的干涉条纹。     

较大直径,低位错锑化铟单晶的研制

本文简要介绍了用ＴＤＫ－３６单晶炉拦制的较大直径、低位错的锑化铟单晶的理论和实践。通过对晶体生长室内温汤，特别是内外坩埚尺寸的调整及对循环水流量的控制，成功地拉制出较大直径、低位错是锑化铟单晶。     

光纤通信技术展望

在介绍目前广泛使用的光纤通信的基础上，针对波分复用的特点，分析提高光纤带宽资源的途径和影响通路数的因素，指出大量带宽资源有待于开发利用和利用有效带宽的途径，以适应未来更大容量和可持续升级的传输网络；同时对影响光通路光纤的非线性效应进行了理论分析和解决措施。未来的第三代光纤通信网络是要实现全光网络，对其中的关键单元进行了一些分析。     

超高清拍摄技术及下一代演播室灯具的技术革新

一超高清拍摄技术我们为什么要关注超高清技术?z这来自于广播电视超高速的发展,电视节目内容不断地创新,内容价值越来越大;z高质量的电视广告、精品电视剧、MTV、纪录片对节目信号质量要求很高;z目前传统电视受到互联网电视、手机电视、IPTV等新媒体的冲击,这些新媒体节目实时、互动、高时效的特点逐步成为观众的关注热点;z提高视觉冲击力是传统媒体提高竞争力的重要手段之一。随着数字影院在国内不断地发展,电视机构可以为数字影院提供内容,并产生协同作用。近年来随着大屏幕电视,包括3D显示技术、家用蓝光