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41.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
42.
结合生产实际中具体的下料问题,本文建立了该类问题的优化模型,并提出下料方式的遴选三准则,即高利用率优先准则,长度优先准则和时间优先准则.运用本文的算法对一维下料的利用率高达99.6%,机器时间4秒.对二维的利用率为98.9%,机器时间约7秒. 相似文献
43.
报道了利用兰州重离子加速器国家实验室ECR源引出的高电荷态离子207Pbq+(24≤q≤36)入射到Si(110)表面产生的电子发射的实验测量结果.结果表明,高电荷态离子与固体表面相互作用产生的电子发射产额Y与入射离子的电荷态q、入射角度ψ和入射能量E都有很强的关联.首次发现,电子发射产额Y与入射角度ψ间有接近1/tanψ的关系.理论分析认为,这些过程与基于经典过垒模型的势能电子发射过程密切相关. 相似文献
44.
利用国家同步辐射实验室合肥光源的真空紫外同步辐射,使NO分子和Ar原子混合物的超声分子束发生光电离,测量了Ar,NO和异类团簇Ar·NO的光电离效率谱. 在谱中,在与Ar原子的共振线对应的能量区域(11.5—12.0 eV)观察到一个强的类共振结构. 这个结果表明,在异类团簇Ar·NO的内部,稀有气体Ar原子的激发能转移到与它接触的分子NO上,使分子NO发生电离.
关键词:
Ar·NO团簇
同步辐射
光电离
能量转移 相似文献
45.
46.
基于可编程逻辑器件的定时器设计 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了用EDA技术实现的99分钟内定时。本系统基于VHDL语言,以CPLD为核心。 相似文献
47.
What Is Its Real Existing Form?——Theoretical and Experimental Studies on 2-Mercaptobenzothiazole 总被引:1,自引:0,他引:1
1 INTRODUCTION The study of heterocyclic molecules with aroma- tic rings and their absorptions on metals is of con- siderable importance from both theoretical and te- chnological points of view. These molecules are in- teresting because of their applications as corrosion inhibitors and flotation collectors, and their abilities to form self-assembly layers[1]. 2-Mercaptobenzo- thiazole (C7H5NS2, in the following MBT) is an important heterocyclic molecule, which can be used as corrosion … 相似文献
48.
49.
本文采用准线性理论,研究了回旋管动量离散的演化,提出了由此引起的不稳定性饱和机理,求得了包括初始横向及纵向动量离散影响在内的计算输出功率、效率、增益、饱和时间和腔长的数学表达式。文中对所得结果进行了数值计算分析。 相似文献
50.