HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用

本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数(包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量)研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500魡/min左右,均匀性5%左右的工艺菜单。该技术运用于MEMS加速度计中,成功实现了梳齿结构和质量块的无粘连释放。     

DAM 10kW数字发射机故障简析

DAM 10kW数字发射机（1494kHz）频繁烧功放管，经台技术人员反复测量和查找，主要原因是功放板不清洁，造成电路爬电；新老功放板电路结构不同，发射机上有混装现象；功率合成器次级（铜棒），在合成母板大台阶功率合成A19与A20之间连接处打火烧黑。技术人员对查找出的问题进行处理，排除了发射机故障，恢复汉语主发射机的播出。     

一种镍基单晶高温合金中碳化物热稳定性研究

利用SEM、TEM研究了一种镍基单晶高温合金中碳化物在950℃时效不同时间的退化规律。固溶处理过程中形成的MC碳化物随时效时间的增加而逐渐退化为M6 C和M23 C6碳化物。同时,由于在时效处理过程中Re元素进入M6 C碳化物中,破坏了其结构稳定性,促使M6 C碳化物也可以退化为M23 C6碳化物。至时效3000 h时,没有观察到碳化物退化的逆反应。本研究可以为高温合金高温下服役的稳定性提供实验参考。     

M7130平面磨床排故系统设计

本文主要针对由触摸屏和可编程序控制器实现的M7130平面磨床排故系统的设计和实现进行了剖析。通过M7130平面磨床常见故障的分析,选定了学生操作和考核过程中经常出现错误的八个故障,确定PLC的输入、输出端口配置,实现硬件上的故障随机设置和故障解除功能;本文在触摸屏功能方面论述了触摸屏与辅助继电器的对应关系、触摸屏实现M7130平面磨床排故系统的控制和仿真等内容。     

高灵敏度大带宽声光信道化接收机

针对目前雷达侦察接收机难以兼顾瞬时大带宽和高灵敏度性能的紧迫形势,深入研究了声光信道化接收技术。其充分利用声光调制和空间傅里叶变换所具有的大带宽、高速度及并行处理等技术优势,并结合多级自适应积分光电转换,实现复杂电磁环境下对目标信号的高效截获。实验证明,声光信道化接收系统具有捕获信号范围宽,自适应能力强,检测灵敏度高等特点,并能有效分离同时到达信号。经样机测试,系统瞬时工作带宽为1GHz时,信号探测灵敏度仍可高达-95dBm,在电子侦察领域具有很高的应用价值。     

Yb3+/Tm3+共掺杂的钨酸镉纳米晶发光性能的研究

本文采用水热法制备了稀土离子Yb³⁺/Tm³⁺共掺杂的钨酸镉纳米晶。运用X-射线粉末衍射、场发射环境扫描电子显微镜和光谱分析对制备的样品的结构和发光性能进行了表征。根据XRD图谱可知, 钨酸镉为单斜晶系, 晶粒平均尺寸在28 nm左右。从ESEM图片可明显看出, 钨酸镉呈纳米棒结构, 直径在30 nm左右, 长径比在5~8之间。利用980 nm半导体激光器激发钨酸镉纳米晶得到样品的发射光谱, 存在一个较强的蓝光发射, 发光峰位于481 nm,对应于Tm³⁺的¹G₄→³H₆能级的跃迁, 分析了Tm³⁺/Yb³⁺离子共掺体系的发光机制。讨论了发光强度随稀土离子浓度的变化, 当Tm³⁺离子的掺杂浓度在2%, Yb³⁺/Tm³⁺物质的量浓度比为10:1时钨酸镉纳米晶的发光强度最强。根据泵浦功率与发光强度之间的关系, 可知处于481 nm的蓝光发射属于三光子过程, 由发光强度与掺杂浓度之间的双对数衰减曲线可知, 引起蓝光发射源于Tm³⁺的电偶极跃迁。     

固定Ionic liquid/Silica sol/Nafion膜中的联吡啶钌电化学发光行为的研究及应用

制备了Ionic liquid/Silica sol/Nafion-联吡啶钌复合物膜修饰金电极。采用循环伏安(CV)和电致化学发光(ECL)法,考察了联吡啶钌和左氧氟沙星在此修饰电极上的电化学及其发光行为。结果表明,此修饰电极表现出很好的电化学活性和电化学发光响应。基于左氧氟沙星对固定化联吡啶钌在0.1 mol/L磷酸盐缓冲液中的弱电化学发光信号有较强的增敏作用,建立了电化学发光检测盐酸左氧氟沙星的新方法。在最佳实验条件下,左氧氟沙星浓度在1.0×10-7～1.0×10-4mol/L范围内与相对发光强度呈线性关系(r2=0.998 4),检出限(S/N=3)为1.59×10-9mol/L。连续平行测定2.2×10-5mol/L的左氧氟沙星溶液10次,发光强度的相对标准偏差(RSD)为3.6%。对样品进行回收率试验,回收率在95.6%～103.5%之间,RSD(n=5)为3.0%。该方法具有较高的选择性和灵敏度,样品处理简单快速,用于盐酸左氧氟沙星的测定,结果满意。     

NO2在黑碳表面的非均相反应

HONO是大气中OH自由基的重要来源,NO2在黑碳表面可反应生成HONO,因此NO2在黑碳表面的非均相反应引起了人们的关注。目前不同研究小组测量的摄取系数可相差7个数量级,选择不同的摄取系数去评估非均相反应的重要性将得到完全不同的结果。本文在深入分析NO2在黑碳表面反应机理的基础上,从反应体系、黑碳表面性质、反应条件等角度对不同小组测量的摄取系数存在差异的原因进行了分析,为模式中摄取系数的选取提供了依据。