离子注入中的硅片冷却

1.前言近几年来在半导体制造业中使用离子注入工艺已显著增加。这一迅速增长的主要因素是在注入工艺中采用光刻胶作掩蔽。最大分辨率是由正胶,即光刻时暴露在其中的部分显影时被去掉的那种胶取得的。通常,正胶对于温度相当敏感,在注入中过高的温度会使光刻胶产生气泡,改变临界尺寸并在其后工艺中使胶难以去除。大多数光刻胶在100℃以下不受影响。注入时几乎没有什么正胶能经得起150℃以上的温度。     

生长过程中采用强磁场改进半绝缘LEC GaAs和InP晶体的均匀性

我们研究了磁场强度对诸如C/GaAs、In/GaAs、Fe/GaAs晶体的杂质分布以及对LEC GaAs、InP单晶的原生缺陷、半绝缘特性的影响。根据这些结果,以数字模拟为基础,我们采用程控磁场LEC技术论证了沿生长轴向杂质分布的可控性。     

对苯醌二亚胺与吡啶共聚物的金属配合物催化法合成及性能

在二氯-1,3-双(二苯基磷)丙烷基镍(Ⅱ)存在下,通过N,N′-二氯苯醌二亚胺和2,5-二甲基-N,N′-二氯苯醌二亚胺与2,5-二溴吡啶的格氏(Grignard)试剂共聚,得到了两种新型共轭聚合物。采用FT-IR1、H-NMR、UV-Vis、XRD、循环伏安、充放电对共聚物进行结构与性能测试。结果表明:该类共聚物具有一定的电化学活性,每种聚合物均在-1.0~2.0 V出现一对氧化-还原峰。聚(N,N′-二氯苯醌二亚胺-吡啶)和聚(2,5-二甲基-N,N′-二氯苯醌二亚胺-吡啶)的比电容分别为126 F/g和63 F/g。     

制造纤维素乙醇的更好微生物

新的转基因细菌可以削减用纤维素生物质——比如玉米秸秆、树叶、柳枝和纸浆——生产乙醇的成本。这种细菌制造乙醇时的温度比使用酵母——它目前被用于把糖发酵成生物燃料的过程——生产时的温度要高。把纤维素分解成能够让细菌发酵的糖不仅仅需要较高的温度,还需要一半数量的昂贵的酶。     

一种具有较大围长的正则LDPC码构造方法

提出一种新的具有较大围长的正则LDPC码构造方法。首先介绍以矩阵分裂技术为基础的高围长正则LDPC码的构造方法,并在此基础上分析了设计围长时参数的选取方法。仿真表明,用这种方法构造的正则LDPC码围长可以达到12,并且在AWGN信道下的性能不差于相同参数、随机构造的LDPC码,在高信噪比时甚至优于相同参数的随机码。     

猜一猜，算一算--估计

1.要是我问你：“你们班上有几个小朋友？”你会先数一数。然后才告诉我正确的数字。如果我再问你：“你住的城市或小镇有多少人？”这次你可没办法一个个去数了。怎么办呢？你可以说一个大概的数字．也就是说。你可以估计你住的城市或小镇有多少人。     

可否走停

你有没有注意到,我们周围的许多事物,只出现两种情形？ 电灯不是开的,就是关的; 婴儿不是睡着的,就是醒着的; 门不是开的,就是关的; 吊桥不是升起的,就是放下的。     

Gauss白噪声激励下分数阶导数系统的非平稳响应

研究了Gauss(高斯)白噪声激励下具有分数阶导数阻尼的非线性随机动力系统的非平稳响应.应用等价线性化方法将非线性系统转化为等价的线性系统,之后采用随机平均法获得系统响应满足的FPK(Fokker-Planck-Kolmogorov)方程,其中分数阶导数近似为一个周期函数.使用Galerkin方法求解FPK方程进而得到系统的近似非平稳响应.数值结果验证了方法的正确性和有效性.     

碳纳米管的近边吸收谱研究

用X射线近边吸收谱研究了单壁, 双壁和多壁碳纳米管在超高真空系统中不同温度下退火处理后的行为.碳的K边吸收谱表明, 多壁管上吸附的杂质将在热处理过程中最先被去除, 其次是双壁管, 最后是单壁管.这种热处理下杂质去除的顺序说明了曲率越小杂质吸附得越牢靠, 即越容易吸附杂质.另外, 结果中显示, 经退火处理后3种碳纳米管在多重散射区域的峰结构呈现规律性的移动,由单壁管到多壁管, 谱峰向低能方向移动; 这是由于碳纳米管的层数不同造成的, 证明这部分谱峰结构直接受到碳纳米管层数的调制, 有利于鉴别3种碳纳米管.     

破坏加氢条件下硷性氮化合物的转化——第二报 在液相加氢条件下各族氮化合物的分布及其相互转化

在小型连续液相加氢装置中进行了抚顺古城子煤低温焦油残油馏分(>325℃)的一次加氢和循环加氢.加氢的物料平衡及各族氮化合物的氮分布结果指出:经加氢后,能被10% H_2SO_4抽出的强硷性分增加到原来的213—227%;其中沸点325°以下的占126—127%,并且主要为喹啉和异喹啉系衍生物(192—325°馏分占<325°的90—90.5%).生成油<325°馏分的强硷性氮中有42—46%能被乙酰化.因此,强硷性分的生成可以解释为高分子氮化合物分子结构的破坏简化和含氮杂环的环破裂成胺类.硷性分的还原成氨较非硷性分难,但前者较易裂解.