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LIGA技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对LIGA技术所存在的缺点,提出了一种利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术。利用此技术,可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上,而且深宽比可以做得很大。 相似文献
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SOIMOSFET中存在着严重的自加热效应,对其直流特性有较大的影响。给出准确的自加热效应模型是精确模拟SOIMOSFET直流特性的基础。文中通过对自加热效应的分析,建立了SOIMOSFET的自加热效应模型,在此基础上给出了一个包含自加热效应的短沟道SOIMOSFET直流模型,并对该模型进行了验证。 相似文献
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SiGe器件及其研究综述 总被引:5,自引:0,他引:5
阐述了SiGe器件的主要研究方向以及国内外对SiGe材料和器件的研究情况,并对SiGe器件与Si器件和GaAs器件的发展前景进行了比较。 相似文献
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