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181.
退火工艺对Al离子注入的4H-SiC表面形貌的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
通过应用多次Al离子注入和CVD中的高温退火技术,在SiC片表面形成了p型层。p型层中各深度下Al的浓度均为11019cm-3,层厚为550nm。本文应用三种不同的退火工艺对注入后的SiC进行退火。通过测量和比较表面粗糙度,发现通过石墨层覆盖来保护表面的退火工艺可以很好的阻止SiC表面在高温退火下的粗化,粗糙度保持在3.8nm。通过其他两种(在氩气保护下、在SiC保护片的覆盖下)退火工艺退火所得到的表面有明显的台阶,粗糙度分别为12.2nm和6.6nm。 相似文献
182.
为了降低芯片电路功耗,电源电压需要不断的减小,这将导致电源噪声对基准电压产生严重影响。为此针对这一问题进行相关研究,采用SMIC 0.18μm工艺,设计出一种低功耗、低温度系数的高PSR带隙基准电压源。仿真结果表明,该设计带隙基准源的PSR在50 kHz与100 kHz分别为-65.13 dB和-53.85 dB;在26 V电源电压下,工作电流为30μA,温度系数为30.38 ppm/℃,电压调整率为71.47μV/V。该带隙基准适用于在低功耗高PSR性能需求的LDOs电路中应用。 相似文献
183.
引入了一种改进的快速步进算法,对三维复杂介质中反射波进行波前追踪,并利用QT和OpenGL相结合的方法对速度场以及射线路径进行可视化模拟。通过模型仿真,验证了该方法的效率、精度以及可靠性。 相似文献
184.
185.
宝山钢铁股份有限公司冷轧薄板厂镀铬机组的基础自动化控制系统均采用SIEMENS公司的Simatic S7-400PLC,该控制系统中的网络通讯设备主要采取玻璃光纤及现场总线,依靠光纤及Profibus电缆来连接现场每一个电气设备,从而达到自动化控制的目的。文章介绍了光缆通讯的原理及其优点。针对冷轧薄板厂镀铬机组自动化控制系统以及光缆通讯,对现场应用中存在问题进行简要介绍,并找到解决途径,进行技术应用改进。通过改进前后对比,该方法取得良好效果,取得一定经济效益。 相似文献
186.
187.
文章通过分析移动数据业务发展的现状,针对终端业务互通瓶颈的问题,提出了一种基于“终端业务平台+开发社区”的终端业务平台实施方案,并对该系统的基本组成部分和功能进行了介绍,最后对在TD—SCDMA领域实施该方案的后发优势进行了分析。 相似文献
188.
本文研究了完全收敛性中的Paley不等式,得到了Hsu-Robbins-Erds大数定律的更加精确的下界和上界,讨论了文[1]中提出的问题,同时在更加广泛的大数定律的意义下推广了[1]的结果,得到了比文[2,3]更加精确的结论。 相似文献
189.
190.