用于光刻的KrF准分子激光器

我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个月，近场光斑尺寸８ｍｍ×２０ｍｍ，性能指标和光束的均匀性满足了光刻的要求。     

X射线激光的新进展

自１９８４年首次实现软Ｘ射线放大以来，已经过去１０多年。在此期间，软Ｘ射线激光取得突出进展。为使软Ｘ射线激光成为实验室工具，对它进行了广泛研究，本文回顾了在多种研究途径中所作的努力和所取得的进展。采用高强度超短激光的光电场感生电离法是很有希望的一种。本文讨论了两种软Ｘ射线激光，它们分别基于光电场感生电离后产生的复合和电子碰撞激发。     

150ns长脉宽XeCl准分子激光器的研究

通过采用多级Ｌ－Ｃ峰化回路、增大输出镜反射率、改变ＨＣｌ浓度的方法，使ＸｅＣｌ准分子激光的脉冲宽度达到１５０ｎｓ以上（最大脉宽达１７５ｎｓ），单脉冲能量大于１２０ｍＪ。同时对紫外准分子激光的光纤耦合系统进行了研究，直径为０．４，０．６，０．８，１．５ｍｍ的紫外石英光纤的耦合输出能量分别为１０，２９，３９，５８ｍＪ     

用密封式CO＿2激光为非金属材料钻孔

用密封式ＣＯ＿２激光为非金属材料钻孔激光打孔目前是一项应用范围很广的技术，应用在类似于喷雾器阀门、婴儿奶瓶的奶嘴、香烟过滤嘴以及陶瓷电路基片等各种各样产品的制造中。生产者所关心的是，激光打孔相对于机械钻孔或注塑成型的优点是费用低、生产率高、良好的可靠...     

加工用大功率CO2激光器

本文介绍采用新的SAGE放电泵浦的高速气流型连续振荡大功率加工用CO2激光器。SAGE泵浦方式就是无声放电辅助的直流辉光放电泵浦，即是以无声放电作为辅助放电的直流辉光放电，是一种适用于大功率激光器的放电泵浦方式。按照通产省“超高性能激光应用复合生产系统”的大型计划(1978~1984年度)，需开发用SAGE方式泵浦的10 kW、20 kW级加工用大功率CO2激光器,下面以这些 成果为中心介绍有关的技术内容。