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在实验上,以Cr 相似文献
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本文报到了1.3μm激光器的射频直接调制实验;获得了频率为1GHz、脉宽小于120Ps,调制度为80%的实验结果。并对DCPBH激光器结构对调制特性的影响进行了讨论。 相似文献
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肾炎的中医药论治与微量元素 总被引:2,自引:0,他引:2
以临床典型肾病病案为例,探讨了中医中药传统理论和微量元素研究的关系,重点讨论微量元素锌,铁,铜与肾病的病因,病机和治疗关系。 相似文献
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日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。 激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列 起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样 正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘 就能观察到散射光。 利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂 除了物镜成像透镜外 还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单 光学检查探头约为以前的一半 可实现小型轻量化。装置的设置面积可减到以前的/。以前 《激光与光电子学进展》2001,(4):63-64
日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。
激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列,起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样,正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘,就能观察到散射光。
利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂,除了物镜、成像透镜外,还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单,光学检查探头约为以前的一半,可实现小型、轻量化。装置的设置面积可减到以前的1/5。以前的检查装置不能编入生产线,设置在另外的检查区域。LB显示器可设置在制造装置附近,因为光学头简单,故可靠性高,有利于维护。
因为能把检查结果即刻反映到生产线上,故大大提高了成品预测精度。现在,LSI生产方面的研究开发费、设备投资年年都在膨胀,为回收这笔费用,须开发新工艺、新装置,极力缩短从制作到批量生产和成品提高的时间。新技术有助于这些课题的解决。 相似文献