反应离子刻蚀铝中nMOS 器件的等离子充电损伤

介绍在等离子工艺中的等离子充电损伤,并且利用相应的反应离子刻蚀(RIE)Al的工艺试验来研究在nMOSFET器件中的性能退化。通过分析天线比(AR)从100:1到10000:1的nMOSFET器件的栅隧穿漏电流,阈值Vt漂移,亚阈值特性来研究由Al刻蚀工艺导致的损伤。试验结果表明在阈值Vt漂移中没有发现与天线尺寸相关的损伤,而在栅隧穿漏电流和低源漏电场下亚阈值特性中发现了不同天线比的nMOS器件有相应的等离子充电损伤。在现有的理解上对在RIEAl中nMOS器件等离子充电损伤进行了讨论,并且基于这次试验结果对减小等离子损伤提出了一些建议。     

体串联电阻对体接触SOI数字D触发器速度特性的影响

在用体接触结构设计的SOI电路中,浮体效应被压制了,但是体串联电阻的存在仍旧在远离体接触的体区产生局部浮体效应。对于数字电路来说,浮体效应会影响他们的速度。本文采用体接触结构设计了数字D触发器,并制造了这种电路,展示了电路的性能。实际器件的输出特性表明了浮体效应的存在。SPICE模拟表明体串联电阻对体接触SOI数字D触发器速度特性有明显的影响。     

新型激光装置前端系统激光时间脉冲整形技术

对惯性约束聚变实验而言,激光时间脉冲整形具有非常重要的意义。随着惯性约束聚变技术的不断发展,对终端脉冲的时间填充因子的要求越来越高,直接导致了对前端系统时间脉冲整形技术的要求也越来越高。为了满足惯性约束聚变实验对前端时间脉冲整形技术的要求,自行设计了“刀口器”装置。利用这一装置,并结合改进的时空变换脉冲整形技术,在“神光—Ⅱ”的升级装置上,实现了大功率激光装置上的激光时间脉冲整形,在终端得到了脉宽1．16ns、上升沿337ps、下降沿360ps、时间填充因子为81．2％的方波激光脉冲,满足了物理实验对前端系统激光时间脉冲整形的要求。同时,提出了进一步改进的措施,以满足今后物理实验的更高要求。     

动态随机存取记忆体的深槽电容器制造方法

首先对深槽电容器应用于4Mb至256Mb动态随机存取记忆体的发展做简要的回顾,以便于读者了解不同时期的记忆体元件设计概念及关键技术。后半部分以示意图方式解析256Mb深槽电容器制造工艺流程,使读者进一步了解先进记忆体产品制造上的主要挑战。     

SID 2004展会亮点纷呈

SID2004展会已于5月28日落下帷幕。纵观这次展会,有四个创新点值得回味,它们是:OLED大放异彩韩国三星SDI展示的17英寸、1600×1200像素AMOLED亮度为400cd/m2,质量优异。它采用激光转写法(LITI)工艺,使用底部发光结构的低温多晶硅底板。而该公司的2.2英寸、320×240像素AMOLED则采用顶部发光结构,亮度为150cd/m2,计划今年三季度少量投产。飞利浦公司的首款13英寸、576×324像素AMOLED也在本次展会亮相,其1.1英寸、96×64像素AMOLED则计划明年投产。铼德公司的2.2英寸、176×220像素AMOLED则以非晶硅为底板,该产品有望在明…     

大型LCD面板价格开始下降

由于大型LCD产量的增加以及需求并未如期所料,用于笔记本电脑和台式电脑显示器的大型LCD价格一改连续5个季度的升势,7月份开始出现下滑。与6月相比,价格下降3~5%。其中,降幅最大的是15英寸LCD,降价13美元;预计该型号面板的降价将刺激低端产品需求,尤其是扩大15英寸LCD面板在电视领域的应用。14英寸笔记本电脑面板也同命相怜,价格下降了9美元。iSuppli公司预计,8月份LCD面板降价趋势仍将持续,笔记本电脑和台式电脑面板降价8~20美元,电视机面板降价20~50美元;预计第三季度这两类产品的平均降价幅度分别是5~10%与10~15%,但大型LCD需求…     

N+多晶硅栅薄膜全耗尽SOI CMOS器件与电路的研究

选用SIMOX(Separation by Implantation of Oxygen)衬底材料,对全耗尽SOI CMOS工艺进行了研究,开发出了N 多晶硅栅全耗尽SOI CMOS器件及电路工艺,获得了性能良好的器件和电路。nMOS和pMOS的驱动电流都比较大,且泄漏电流很小,在工作电压为3V时,1．2μm101级环振的单级延迟仅为50．5ps。     

大型体育赛事WLAN覆盖解决方案探讨

1项目背景 2008年北京奥运会WLAN的成功运营,使得WLAN成为了大型体育赛事信息、数据服务的重要保证。第十一届全运会是继2008年北京奥运会之后的又一次重大体育赛事,本次全运会主办方为官员、运动员、工作人员特别是新闻记者提供了便捷高效的WLAN无线宽带接入业务。     

基于P2P的信息共享技术的研究初探

随着计算机处理能力的不断增强,特别是网络技术的迅速发展,不同主机之间的资源共享问题成为研究的热点.对等网络（Peer-to-Peer,简称P2P）作为一种完全分布的计算模型,可以脱离中央服务器实现对等节点间的直接通信,从而充分利用每个网络节点自身的资源,实现整个网络计算资源的充分利用和信息资源的高效共享.在对等网络的众多研究领域中,关于查找算法的研究具有核心地位.本文对现有对等网络查找算法中的以Chord为代表的结构化分布式查找算法,然后在Chord数学模型的基础上,提出了Chord查找算法的改进方法.     

基于SNMP的微波网管系统控制器软件设计

SNMP协议由于其简单实用,系统开销小等优点,其应用起来越广泛。分析了微波网管系统总体功能结构,提出了基于SNMP的微波网管系统控制器软件结构图。在ARM和uClinux平台上设计了控制器的软件模块,使用开源软件包net-snmp-5.4.2,编写相关设备驱动程序和应用程序完成了控制器的软件设计,以实现微波网络监控系统控制器的功能。