一种新型PCB数字光刻投影成像技术

为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 mm,数值孔径NA=0.045,焦深为200 mm,严格控制像面畸变量小于0.03%。采用DMD多光束倾斜扫描技术,将DMD旋转一定的角度,利用曝光点的位置与光斑重叠积分能量的多少,形成更小的像素尺寸,提高了网格精度。基于该投影成像技术进行了光刻实验,实验结果证实了该投影成像技术的可行性,通过控制网格精度既能实现整数像素以外的线宽又能提高图像的分辨率和光刻效率。     

用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展

阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型--高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍.总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺点,包括它们的整形能力、能量损失、干涉效应以及波前和振幅均匀化控制等;同时对主要整形器件的原理、特性和进展情况进行了简要综述.     

PCB激光投影成像扫描技术分析

通过对印制电路板激光投影成像技术使用的步进重复扫描和六边形无接缝扫描方法进行比较,揭示了六边形无接缝扫描技术的优越性能,对六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程及其实现的原理进行了阐述,并对影响扫描成像的曝光量和曝光速度等因素进行了分析.     

BaTiO3;Ce桥式互泵浦相位共轭镜的研究

本文首次用两台Ｈｅ－Ｎｅ激光器在光折变晶体ＢａＴｉＯ３：Ｃｅ中实现了桥式互泵浦相位共轭，并实验确定了互泵浦光的最佳入射角度。对ＢａＴｉＯ３：Ｃｅ桥式互泵浦相位共轭镜的形成机理作了分析，并对实验的结果和现象进行了讨论。     

基于ZigBee和指纹识别技术的远程监控系统研究

针对传统监控系统的种种弊端,设计一种基于物联网"紫蜂"技术和指纹识别技术的远程监控系统。采用CC2530芯片组建"紫蜂"技术网络和控制核心,利用高灵敏度的指纹传感器AES2510进行指纹采集,并使用高性能的通用分组无线服务模块MC39i进行远程网络连接,使系统具有低功耗、高可靠性、低成本和远程可控的特点。实验表明,系统的指纹识别正确率达100%,传输范围达150 m,在100 m时的通信波特率达35 kb/s,休眠时电流仅2.5 uA,接收功率为82 dBm,符合实际要求。     

一种新型投影曝光调焦方法

为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差（OPD）和调制传递函数（MTF）的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。     

基频倍频光波前面的相位控制技术

结合数字干涉技术和倍频技术,设计了一种在相干控制中诊断相他波阵面畸变和判断其一致性的实验方案,实现了对基频倍频光波前面相位畸变的诊断.制作了一套自动相位修正系统.成功地应用于相干控制实验中.该系统利用相位畸变诊断算法,根据光强与相位差的关系求出相位差的空间形貌,计算出驱动压电陶瓷伸缩的电压值,使产生畸变的镜面朝相位畸变缩小的方向调整.实验结果表明,该系统可实时地自动纠正基频光与倍频光光束波前面的相位差,实现两相位面在全光孔径内保持一致.     

部分相干高斯光通过扩束系统的衍射分析

采用高斯谢尔Gaussian-Sehell模型(GSM)来描述部分相干的准分子激光柬,利用柯林斯(Collins)衍射积分公式和Matlab对部分相干高斯光通过扩束系统的衍射性质进行模拟分析.结果表明,出射激光束随着空间相干参数β的变大,出现亮暗相问环状光束的数目增多,且衍射峰值明显增加.表明空间相干参数对于设计扩束系统及其相关光学系统的重要性.     

远场非单一强度分布光的BaTiO3:Ce自泵浦相位共轭效应

在BaTiO3:Ce晶体上,用两He-Ne激光为模拟光源,进行远场自泵浦相位共轭.通过研究不同入射强度比的两种光产生的相位共轭光强变化,特别是它们各自建立相位共轭光栅的响应时间差别,发现非单一强度分布的远场光产生的相位共轭光在时序上能分离.依此特性,初步探索不配合目标的信标光成为点光源用于自适应光学系统的问题.     

基于门控制模式的单光子探测电路设计

基于门控制模式的雪崩抑制方法,对工作波长为1.31 μm的单光子探测器件InGaAs/InP雪崩光电二极管的高压电源和单光子信号检测电路进行了设计,同时对设计中所涉及的关键问题进行了分析.通过巧妙设计脉冲发生器的单稳态电路等效地实现了直流电平叠加脉冲的"光子门",通过使用跨阻前置放大器和精密比较甄别器等能在一定程度上提高探测的灵敏度.