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<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。 相似文献
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本文介绍了单片机(8031)以软件方式实现FSK调制解调的原理和方法,它不仅具有硬件调制解调器的基本功能,而且有较高抗干扰能力。采用数字调频器原理及限幅鉴频的非相干解调器原理对信号进行调制和解调。该调制解调器具有相位连续,数据奇偶校验等功能。给出了电路框图和软件框图。 相似文献