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<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。 相似文献
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本文通过对现代数字录音技术和多媒体计算机网络技术的分析,讨论了在云南人民广播电台采用上述新技术,建立集数字化音频制作、新闻文稿处理和自动化播出为一体的计算机网络系统的具体实施构想。 相似文献
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采用Coulomb-Bron交换近似,在Z标度类氢模型下计处了“水窗”波段Mn^22+离子精细结构能级的电子碰撞激发截面和速率系数。为了更有效地考虑碰撞过程中电子的关联和相对论效应,在计算中对有效核电荷的计算作了修改。 相似文献
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本文提出一种简便的方法,仅利用一彩色滤波器便可以从金相显微镜实时地观察到假彩色编码图象。图象棱角分明、色彩鲜艳丰富,并能显示黑白显微放大图象所看不到的细节。 我们使用的方法是使黑白图象假彩色化,它利用改造物的空间频谱(即在不同频谱处仅让“某种颜色的光”通过)而实现的。 作者给出理论解析、实验装置和实验结果,并指出这种方法的优点及其在冶金,机械等领域的潜在实用前景。 相似文献