光刻系统层间套刻精度的评估

<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。     

红外警戒系统作战环境的计算机仿真

文中论述了红外警戒系统视景仿真研究的主要内容，给出了仿真软件流程。探讨了满足红外警戒系统全方位、多目标视景生成的实时性方法。     

基于nRF9E5的无线光标控制系统

利用无线收发技术进行短距离信息传输是传送信息的一种重要方法.本文首先比较具体地介绍了基于无线收发模块进行光标控制系统的基本原理,接着介绍了无线发射、接收模快及最新51兼容射频SoCnRF9E5的片内微控制器的功能及参数,阐述了系统的软件设计.最后说明了用nRF9E5进行无线光机鼠标设计的优势.     

发散性思维解一中考应用题

本文以2002年福州市初中毕业会考高级中等学校招生考试数学试题第四大题的25小题为例,从多种途径出发,通过多角度审视,谈谈发散性思维在解题中的作用. 题目为落实“珍惜和合理利用每一寸土地”的基本国策,某地区计划经过若干年开发“改造后可利用土地”360平方千米,实际施工中,每年比原计划多开发2平方千米,按此进     

解抛物问题的一类新的瀑布型多重网格法

本文推广石钟兹 ,许学军对椭圆问题提出的新的瀑布型多重网格法到抛物问题 ,建立了相应的理论结果 .     

第三届数字新媒体高峰论坛23日举行

(本刊讯)第三届数字新媒体高峰论坛8月23日在北京皇家饭店隆重举行。论坛邀请有线、地面、直播卫星、IPTV、移动多媒体广播、IPTV、付费     

"火龙出水"的西昌发射场——素描中国四大卫星发射中心(1)

随着中国南方热带的海南文昌卫星发射基地的建成,它将是继酒泉、西昌和太原卫星发射中心之后,建设的第4个卫星发射基地,并且预计文昌卫星发射基地     

有限元节点编号优化

从分析最简单最优的矩形单元节点编号着手，分析其特点，得出各个节点的相邻单元节点编号总和除以该节点相邻单元数所得的节点商以及相邻单元最小最大节点编号和都为升序排列。总结出一种新型的有限元节点重编号方法，并举例说明该算法能减少有限元的带宽。