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21.
荷电粒子注源的物理原理和应用
周晓岚
《真空电子技术》
1993,(5):50-54
本文叙述了荷电粒子注源的物理原理和几种应用,大多数原理和应用基于利用部分电离的等离子体的传输特性或将其作为靶来利用。这些应用包括加速器源和离子植入技术。
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