光刻系统层间套刻精度的评估

<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。     

有限元节点编号优化

从分析最简单最优的矩形单元节点编号着手，分析其特点，得出各个节点的相邻单元节点编号总和除以该节点相邻单元数所得的节点商以及相邻单元最小最大节点编号和都为升序排列。总结出一种新型的有限元节点重编号方法，并举例说明该算法能减少有限元的带宽。     

数字音频制播系统建设构想

本文通过对现代数字录音技术和多媒体计算机网络技术的分析，讨论了在云南人民广播电台采用上述新技术，建立集数字化音频制作、新闻文稿处理和自动化播出为一体的计算机网络系统的具体实施构想。     

Mn^22＋电子碰撞激发截面和速率系数

采用Ｃｏｕｌｏｍｂ－Ｂｒｏｎ交换近似，在Ｚ标度类氢模型下计处了“水窗”波段Ｍｎ＾２２＋离子精细结构能级的电子碰撞激发截面和速率系数。为了更有效地考虑碰撞过程中电子的关联和相对论效应，在计算中对有效核电荷的计算作了修改。     

简单的溶液蒸干装置

用色层分离柱进行高聚物淋洗分级时,每次得到十几个以上的級份,为了要测定每个級份的分子量,就必須首先将溶剂蒸干。以往是在通风橱中,溶剂自然蒸发,有时也利用吹风机加速蒸发的办法,这样不但时間要很长,而且不利于安全、又浪費溶剂。我們設計了下列这套設备,基本上解决了上述的缺点,在使用中尚较滿意。     

STUDY ON ESR SPECTRUM OF BIS(2-HYDROXYL-PHENYLKETOXIME)-COPPER (Ⅱ) COMPLEX

A better resolution of ESR spectrum of bis(2-hydroxyl-phenylketoxime)copper (Ⅱ) complex intetrahydrofuran (THF) solution, measured at liquid nitrogen temperature, was analyzed. From thespectrum, we have not only got hyperfine splitting of the ~(63)Cu and ~(65)Cu, but also very nice super-hyperfine splitting arising from ~(14)N nucleus. The g_x, g_y, g_z; A_x~(63), A_y~(63), A_z~(63); A_x~(65), A_y~(65), A_z~(65); A_∥~N andA_⊥~N etc. tensor parameters were determined rather reasonably. From these, we calculated the bondingparameters of this complex, and discussed its electronic structure.     

电化学合成铜配合物的研究

采用金属铜为"牺牲"阳极,首次在无隔膜电解槽中,电化学溶解金属铜一步制备了纳米CuO前体Cu(OEt)2, Cu(OBu)2, Cu(acac)2, Cu(OEt)(acac), Cu(OBu)(acac) (acac为乙酰丙酮基).产物通过红外光谱(FT-IR)、拉曼光谱(Raman spectrum)进行表征.同时讨论了影响电合成铜醇盐及其配合物的关键因素.实验表明,防止阳极钝化,温度控制在30～50 ℃,采用有机胺溴化物为导电盐, 电极电位控制在0.8～1.2 V之间,可以提高电合成效率.实验同时表明Cu(acac)2, Cu(OEt)(acac), Cu(OBu)(acac)可作为制备含铜纳米材料前驱体.     

~(14)N ENDOR Study on Bis(2-Hydroxylphenyl Ketoxime)-~(63)Cu(Ⅱ) Complex

The ENDOR spectrum of ~(14)N-~(63)Cu-HAP complex in DMSO/EtOH (5:1) freezing solution at 20 K has been studied using orientational selective method in this paper. The anisotropic superhyperfine coupling tensor and qusdrupole coupling tensor of ligand ~(14)N nucleus, and the superhyperfine coupling tensor of various ~1H nuclei have been measured precisely. Comparing the superhyperfine coupling tensor of ~(14)N-nucleus with previous work shows that the analytical method of spectrum is reasonable and the data are reliable in our previous work.