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用传统的抛光法精确塑造光学元件 得到低波前畸变是一项极其困难的任务 特别是那些大于cm或小于 cm的光学元件。无论大的还是小的光学元件 波前测量都很困难。 如果可以同时制造和测量光学元件就方便多了。对中等大小的光学元件也很方便 但在处理中等大小光学元件时 有好几种方案。 大阪大学激光工程研究所的Jitsuno及其同事已开发一种技术 可同时进行整形和相位测量 波前畸变很小。这种技术称作激光烧蚀成形 它用nm ArF准分子激光来塑造光学器件 用相移干涉仪现场检测像差。 研究者试图用这种方法来塑造 《激光与光电子学进展》2001,(3):59-60
用传统的抛光法精确塑造光学元件,得到低波前畸变是一项极其困难的任务,特别是那些大于50 cm或小于1 cm的光学元件。无论大的还是小的光学元件,波前测量都很困难。
如果可以同时制造和测量光学元件就方便多了。对中等大小的光学元件也很方便,但在处理中等大小光学元件时,有好几种方案。
大阪大学激光工程研究所的Jitsuno及其同事已开发一种技术,可同时进行整形和相位测量,波前畸变很小。这种技术称作激光烧蚀成形,它用193 nm ArF准分子激光来塑造光学器件,用相移干涉仪现场检测像差。
研究者试图用这种方法来塑造玻璃和石英,但碎片使表面粗糙,难以接受。但对于塑料,烧蚀下的材料与大气中的O2反应,碎片量可忽略不计。把塑料的均匀烧蚀性能与玻璃的优秀光学性能结合,在玻璃基质上镀一层50 μm厚的紫外线干燥树脂。
实验者使用准分子激光器,在直径为5 cm的玻璃-塑料混合基质上产生平面和球面。使用的光通量为45 mJ/cm2,使表面粗糙度降至最低。
激光烧蚀整形可以在安装以后重新形成激光二极管的微透镜,以补偿位置误差
平面的波前畸变开始点为3.0 λ,激光烧蚀后,在90%的表面上降至0.17 λ。球面开始点为2.5 λ,用整形法产生波前少于0.2 λ的非球面部件。激光器在17 Hz下操作,过程耗时4小时。一台性能良好的标准抛光机要花费6小时方能使玻璃基质达到同样的水平。
激光烧蚀整形能达到的精确度和表面粗糙度使其在通用光学器件方面有广泛用途,亦可用于折射光学器件的背面整形,可能特别适用于激光二极管的微透镜或单模光纤,因为在装配以补偿位置误差后,它还可以重塑表面。
研究者发表其结果后,一直在这一领域进行实验。因为在激光二极管中有波前误差,转而使用Shack-Hartman传感器,这种传感器在聚甲基丙烯酸酯中产生的表面波纹更加敏感。最近,他们借助一台新的脉冲CO2激光器,成功地用烧蚀法平滑表面。经证明单模光纤更容易,但表面粗糙度仍不令人满意。 相似文献
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日本ウシオ电机株式会社批量生产标准样机 开发了一种重复率kHz输出 W的ArF准分子激光器。其稳定性±.%线宽. pm脉宽ns 性能达到世界最高水平。 ArF激光波长为 nm 可用作生产线幅.~. μm半导体的光刻用光源。 该公司还利用相同的ArF激光器 在世界上首次实现重复率 kHz输出W的基本性能。 《激光与光电子学进展》2001,(4):64
日本ウシオ电机株式会社批量生产标准样机,开发了一种重复率2 kHz、输出10 W的ArF准分子激光器。其稳定性±0.25%、线宽0.4 pm、脉宽50 ns,性能达到世界最高水平。
ArF激光波长为193 nm,可用作生产线幅0.10~0.13 μm半导体的光刻用光源。
该公司还利用相同的ArF激光器,在世界上首次实现重复率4 kHz、输出20 W的基本性能。
(以上由江涛供稿) 相似文献
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在原子的量子位相中存储信息的潜在优点是数据恢复的速度。理论家在年提出的算法可在N状态系统中以N步设置数据 而不是像在经典的算法下 以N/步设置数据 数据库可以进一步寻求以单步设置。 密西根大学研究人员以实验证实了理论。他们以双光子吸收法 用.μm的激光创建铯原子的“数据库”。啁啾脉冲放大的Ti宝石激光器提供fs nm的脉冲 用来编制原子程序和恢复信息。以%~%的精度确认单个询问的信息。 《激光与光电子学进展》2001,(2):38
在原子的量子位相中存储信息的潜在优点是数据恢复的速度。理论家在1997年提出的算法可在N状态系统中以N步设置数据,而不是像在经典的算法下,以N/2步设置数据,数据库可以进一步寻求以单步设置。
密西根大学研究人员以实验证实了理论。他们以双光子吸收法,用1.08 μm的激光创建铯原子的“数据库”。啁啾脉冲放大的Ti宝石激光器提供150 fs,785 nm的脉冲,用来编制原子程序和恢复信息。以80%~96%的精度确认单个询问的信息。 相似文献
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本文介绍空腔靶设计的物理思想、及能量吸收特性、X光转换特性和堵腔特性的实验研究方法,给出了实验观察到的一系列物理现象,通过对现象的分析而得出空腔靶的能量吸收和X光转换明显优于平面靶;利用相对孔径较大的聚焦透镜打空腔靶有利于改善靶的能量吸收和转换特性的结论。 相似文献
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用电化学沉积法制备ZnO/Cu2O异质p-n结 总被引:1,自引:1,他引:1
由于P型ZnO的制备仍然存在一定的困难,限制了ZnO在光电方面的应用,尤其是在发光二极管和激光器的实际应用,目前利用P型的透明半导体氧化物与n型ZnO制备异质p-n结,成为新的研究热点。选择P型导电Cu2O与ZnO制备出异质p-n结。Cu2O是一种典型的P型半导体材料,禁带宽度为2.1eV,可见光范围的吸收系数较高。首次利用电化学沉积的方法制备了ZnO/Cu2O异质p-n结,研究了电沉积ZnO,Cu2O的生长机制和ZnO/Cu2O异质结的结构、光学和电学特性。 相似文献
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The optical property,structure,surface properties(roughness and defect density)and laser-induced dam- age threshold(LIDT)of TiO_2 films deposited by electronic beam(EB)evaporation of TiO_2(rutile),TiO_2 (anatase)and TiO_2 Ta_2O_5 composite materials are comparatively studied.All films show the polycrys- talline anatase TiO_2 structure.The loose sintering state and phase transformation during evaporating TiO_2 anatase slice lead to the high surface defect density,roughness and extinction coefficient,and low LIDT of films.The TiO_2 Ta_2O_5 composite films have the lowest extinction coefficient and the highest LIDT among all samples investigated.Guidance of selecting materials for high LIDT laser mirrors is given. 相似文献
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本文研究了带有部分扩散(?22b1,?11b2)的二维非齐次不可压缩磁流体方程组的柯西问题.我们在Sobolev空间中证明了该磁流体方程组存在唯一的整体强解. 相似文献
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