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为了在光栅制作中对光栅掩模占宽比及槽深加以控制,结合光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了光栅掩模槽形演化的数学模型,由此分析和模拟曝光量、条纹对比度对光栅槽形的影响。结果表明:在显影条件确定时,光栅掩模占宽比随光刻胶曝光量的增大而减小,条纹对比度减小,则不仅使光栅占宽比减小,同时也是使光栅槽深减小的主要原因,这样做的前提是预先通过实验和计算确定出一个曝光量上限Ec。该方法能够反映光栅掩模形状的演化规律,为全息光栅参数预测和工艺控制提供依据。 相似文献
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TiN涂层的径向微动行为 总被引:1,自引:1,他引:0
对GCr15/45#钢和GCr15/离子镀TiN涂层的45钢摩擦副进行了径向微动试验,试验的最大载荷从200N到800N,循环次数为10^5。摩擦磨损试验结果表明,TiN涂层的抗塑性变形能力和抗么向微动损伤能力比基体好,SEM分析表明,TiN涂层的磨屑呈现剥层特征钢试样表现出粘着现象。 相似文献
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Fe~(2+):ZnSe晶体作为3~5μm波段极具潜力的中红外激光介质之一,在材料特性和转换效率等方面具有明显优势。对Fe~(2+):ZnSe晶体的吸收特性进行了研究,利用自制放电引发的非链式脉冲HF激光抽运Fe~(2+)掺杂浓度为4×1018 cm~(-3)、尺寸为10mm×10mm×5mm的Fe~(2+):ZnSe晶体,在室温下获得了65mJ的高能量Fe~(2+):ZnSe中红外激光输出,光光转换效率为31%,输出激光能量相对于晶体吸收抽运光能量的斜率效率可达37%。 相似文献
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研究了国内外主要标准化组织触控交互和手势交互技术标准化现状,阐述了各自标准体系框架、标准研制以及重要标准;并从标准化方向、标准体系框架和标准研制等方面开展比对分析,为我国触控交互和手势交互标准化工作提出建议. 相似文献