TFT-LCD制造工艺中金属残留的解决方案

在TFT-LCD阵列的四次掩模技术中,复合层刻蚀是非常难控制的一道工序,最突出的问题是在复合层刻蚀后信号线的两边有金属残留,金属残留会对之后的绝缘层产生影响,导致断层等不良.调整复合层刻蚀工艺是目前解决金属残留问题的通用方法,但是都没有根本地解决这个问题.文章通过研究信号线刻蚀时间对复合层刻蚀后金属残留的影响,认为通过...     

Forward acceleration and generation of femtosecond megaelectronvolt electron beams by an ultrafast intense laser pulse

We present a new mechanism of energy gain of electrons accelerated by a laser pulse.It is shown thatwhen the intensity of an ultrafast intense laser pulse decreases rapidly along the direction of propagation,electrons leaving the pulse experience an action of ponderomotivc deceleration at the descending part ofa lower-intensity laser field than acceleration at the ascending part of a high-intensity field, thus gain netenergy from the pulse and move directly forward. By means of such a mechanism, a megaelectronvoltelectron beam with a bunch length shorter than 100 fs could be realized with an ultrafast(≤30 fs),intense (>10~(19)W/cm~2)laser pulse.     

Pd2团簇结构与能级分布的理论研究

在相对论有效原子实势(RECP)近似下,用密度泛函(B3LYP/SDD)方法,计算Pd2及其±1价和±2价分子离子的结构,光谱性质和能级分布.最后讨论了最高占据轨道(HOMO)与最低空轨道(LUMO)之间的能级间隙(HLG),分析了团簇的化学活性.     

薄膜生长荧光显微图像实时采集与分析系统

设计了一套具有一定实用意义和科学价值的薄膜生长荧光显微图像实时采集与分析系统,可以实现透明衬底上有机荧光分子薄膜生长的实时原位监测。进一步阐明了系统的硬件构筑思路和软件设计架构,并依据薄膜的形貌特征,给出8个主要生长信息参数及其求取算法,并利用自行搭建的实验系统,针对联六苯(p-6P)分子在云母衬底上的纳米纤维生长过程,得出了其准一维的线性生长规律。该系统作为重要的薄膜生长成像监测技术,有望在薄膜与衬底表面相互作用和衬底微区结构特性研究等方面起到积极的作用。     

Compact temperature-insensitive modulator based on a silicon microring assistant Mach-Zehnder interferometer

<正>On the silicon-on-insulator platform,an ultra compact temperature-insensitive modulator based on a cascaded microring assistant Mach-Zehnder interferometer is proposed and demonstrated with numerical simulation.According to the calculated results,the tolerated variation of ambient temperature can be as high as 134℃while the footprint of such a silicon modulator is only 340μm~2.     

类立方烷过渡金属簇合物(n-Bu4N)3[MoAg3BrI3S4]激发态寿命测量

本文在类立方烷过渡金属簇合物(n-Bu₄N)₃[MoAg₃BrI₃S₄]空气饱和乙氰溶液中实现了瞬态全光开关.由开关时间推断出这种材料的激发态寿命约600ns,约为C₆₀三重态第一激发态在空气饱和甲苯溶液中寿命的2倍.     

不同选通条件下对光谱烧孔孔深的研究

本文从理论上分析了低激发密度下,选通光分别为脉冲光和连续光时,孔深随时间的变化,得到可以通过脉冲光烧孔、连续光选通的方法缩短烧孔时间.应用BaFCl_0.5Br_0.5:Sm²⁺(2%)进行了实验,分析了单脉冲烧孔的孔深.     

涡流发生器污垢特性实验台的设计

为了研究涡流发生器的污垢特性设计了一个能够在线监测温度、流量以及压差进而可以直接得到污垢热阻的实验台。通过验证实验、准确性分析与误差分析,验证了实验台设计精度在允许的误差范围内。示例实验结果表明实验台具有研究涡流发生器的污垢特性、压力特性以及换热特性的功能。     

S型叶尖小翼对风轮近尾迹声辐射影响的实验研究

采用5因素5水平的正交实验方法,找到在不同尖速比下均具有较好功率放大效果的S型叶尖小翼结构,对其影响近尾迹流动与声辐射的特征进行了测试。发现该小翼可以打散从风轮叶尖脱落的叶尖涡结构,在测试方位面内形成多个涡量集中区域,而且使叶尖涡内高涡量区域减小,降低叶尖涡的强度。同时,该小翼还可以使叶尖附近的压力脉动衰减,高压力脉动区域缩小,降低声辐射的强度,有效降低近尾迹中的声压级,靠近风轮附近测点的最大声压级降幅超过10dB,在1倍风轮直径下游位置的声压级降幅为2~7 dB.对S型叶尖小翼影响近尾迹流动和声辐射的研究,为提高风力机性能和降噪途径的探索积累了经验.     

激光间接驱动惯性约束聚变内爆物理实验研究

激光间接驱动惯性约束聚变利用辐射烧蚀驱动靶丸球形内爆,在减速阶段将内爆动能转化成热斑内能,同时压缩燃料,达到点火条件,实现聚变点火。根据目前认识,影响内爆压缩过程的主要因素包括内爆对称性、燃料熵增因子、内爆速度和混合。内爆物理实验研究的目的是发展对上述影响因素的实验表征方法,获取这些影响因素随靶设计参数的变化规律,建立相应的实验调控能力,最终达到不断提升内爆性能的目的。为此,在内爆对称性方面,开展了Bi球自发光实验,用于研究点火脉冲前2ns驱动不对称性;在内爆速度方面,开展了球面弯晶单能流线实验,测量得到内爆速度和剩余质量随时间的变化;在混合方面,开展了内壳层示踪涂层内爆混合实验,测量得到环形发光图像。为考察综合内爆性能,在神光Ⅱ和神光Ⅲ原型装置上开展了DT内爆实验,获得了中子产额随初始靶参数的变化规律。