电子束缩小投影曝光系统的掩模研究

介绍了用于电子束投影曝光系统中薄膜加散射体掩模的制备、性能和使用情况。     

瞬态碰壁气体射流的数值模拟

稳态气体射流,作为一种典型流体力学现象和重要的工程应用技术,已在实验上和理论上广泛而深入地作过研究,得出了经典性的结果。但对间歇性的瞬态射流或射流开始发展的过渡阶段,尤其是这种射流和壁面的相互作用,迄今还研究很少。不过在某些领域,如内燃机工程中,这种研究有着重要的实际意义。气体射流模型曾用来模拟柴油机中高喷射压力的喷雾,获得相当的成功。而高喷射压力天然气发动机则更需要直接应用瞬态气体射流技术。     

高掺MgO:LiNbO3晶体的性能、折射率和室温倍频研究

本文报导用自控提拉法生长的高掺MgO:LiNbO3晶体的性能、折射率、位相匹配角和室温下1.06μm激光辐射的倍频。     

模糊保并、保交映射的隶属函数

模糊关系与算子合成构成了模糊映射，即将模糊集映射为模糊集。本文证明了模糊保并、保交映射的隶属函数可以表示为模糊关系与算子的合成。     

耦合有限元空间上Poisson方程的广义差分法

本文讨论了耦合有限元空间上Poisson方程的一种广义差分法 ,试探函数空间为耦合的有限元空间 ,检验函数空间为与对偶单元相对应的分片常数空间 ,并给出了误差估计 .     

用单块电子俘获器件实现可编程二值光学逻辑处理

用单块电子俘获器件,以一种新方法一时域编码方法,实现了所有16种布尔逻辑运算.根据电子俘获材料的存贮和可擦除特性,按特定顺序进行一系列单元操作,可测到每种布尔逻辑函数,同一般光学逻辑处理器相比,这种处理器具有新的自由度一时域自由度,文末给出了实验结果.     

应用于PHEMT器件的深亚微米T形栅光刻技术

PHEMT器件和基于它的高频单片集成电路广泛应用于现代微波/毫米波系统。当PHEMT器件的栅长缩短到足够短的时候,沿着栅宽方向的寄生电阻会影响PHEMT器件的性能。为了解决这个问题,一种具有大截面面积而底部长度却很小的T形栅结构通常被用于制作PHEMT器件,因为这种结构可以有效地减少由于栅寄生电阻而引起的晶体管噪声。对几种常用的制作深亚微米T形栅的三种光刻技术即光学光刻、电子束光刻、X射线光刻技术进行了比较分析。对于光学光刻技术,通常需要采用移相和光学邻近效应校正技术,它的制作成本低,但是很难用于制作深亚微米T形栅;对于电子束光刻技术,通常需要采用高灵敏度和低灵敏度的多层胶技术,虽然它的栅长可以制作到非常小,但是它的生产成本非常高,而且它的生产效率非常低;对于X射线光刻技术,它不仅可以用于制作深亚微米T形栅,而且它的生产效率非常高,T形栅的形状可以非常容易控制。     

Helium系列处理器

Helium系列处理器是Virata公司(现在是GlobespanVirata)的通信处理器,主要为针对宽频调制解调器、桥接器与住宅路由器在不同价格、效能与产品特性上的市场需求,主要有He-lium100,Helium200,Heliumn210—80。 Helium100(225球PBGA封装双嵌入式48MHz ARM7DMI)是针对     

基于有界算子的三角模糊数运算

本文用sup-⊙(有界算子)合成代替通常模糊数运算中的sup-min合成,对三角模糊数讨论其加减乘除算术运算,证明了其和、差与数乘仍是三角模糊数,得到了积、商仍为三角模糊数的条件。并给出一个例子,说明以三角模糊数为系数的线性方程组有可能存在三角模糊数解。