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101.
The planarization mechanism of alkaline copper slurry is studied in the chemical mechanical polishing (CMP) process from the perspective of chemical mechanical kinetics.Different from the international dominant acidic copper slurry,the copper slurry used in this research adopted the way of alkaline technology based on complexation. According to the passivation property of copper in alkaline conditions,the protection of copper film at the concave position on a copper pattern wafer surface can be achieved without the corrosion inhibitors such as benzotriazole(BTA),by which the problems caused by BTA can be avoided.Through the experiments and theories research,the chemical mechanical kinetics theory of copper removal in alkaline CMP conditions was proposed. Based on the chemical mechanical kinetics theory,the planarization mechanism of alkaline copper slurry was established. In alkaline CMP conditions,the complexation reaction between chelating agent and copper ions needs to break through the reaction barrier.The kinetic energy at the concave position should be lower than the complexation reaction barrier,which is the key to achieve planarization. 相似文献
102.
我国现行的物业费请求权的权利主体及义务主体是单一的,分别是物业服务企业及业主,由此造成的物业收费率低、业主与物业服务企业矛盾重重等现象,使业主及物业服务企业的利益都遭受到了损害。目前物业管理朝信息化社区方向发展,随着网络走进每一个家庭,物业管理利用网络,可与任何一个业主进行直接交流和沟通,把所有的管理与服务咨询发布在网上,业主也把所有的需求以及对物业管理的反馈即时发布在网上,两者实现无障碍沟通。 相似文献
103.
我国的公共照明设备的电能源浪费现象非常严重,以学校图书馆借阅室的照明灯为例,几乎常年、整天的照明造成大量的电能源浪费。结合电子专业的技术知识,通过设计电路图以及对电路图的仿真,并应用相关电子元器件,设计出一个节能控制电路,根据当日的光照水平和阅览室内学生人数,决定照明灯的开关,实物运行效果良好。 相似文献
104.
车轮作为列车走行部的关键部件之一,其踏面产生缺陷后会直接影响到列车的运行安全。为了能够在检测时准确识别车轮踏面缺陷不同类型,提出一种基于灰度-梯度共生矩阵的纹理特征提取方法,对踏面图像的灰度和梯度特征分析之后,根据灰度-梯度共生矩阵提取踏面图像纹理特征矢量,再结合K-均值(K-means)聚类优化算法对踏面缺陷特征量进行聚类,从而将踏面缺陷类型进行分类,并将分类结果用可视化数据显示。实验结果表明,采用上述所提方法,对车轮踏面缺陷不同类型的分类识别精度达96%以上。 相似文献
105.
106.
107.
分析了脉冲激光作用下GaN的衬底剥离过程。利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了分界面温度和脉冲宽度的关系。表明,单脉冲作用下分界面的温度与加热时间的平方根成正比,并得出脉冲过后随着深度变化温度梯度的分布。在连续脉冲作用时,分界面的温度呈锯齿状不断升高。 相似文献
108.
液晶投影电视技术的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了国外液晶投影电视的发展动态,结合对典型液晶彩色投影机特性的介绍,剖析了液晶投影电视机的结构和原理,并进一步探讨了研究液晶投影电视技术的有关技术要点,阐述了在我国进行这项技术研究的有关问题。 相似文献
109.
本文用混合法——MM(矩量法)和GTD(几何绕射理论)相结合,分析位于有限接地平面或导体台阶上的同轴型底部加载天线。计算了天线的电流分布和输入阻抗,计算结果与实测值吻合较好。 相似文献
110.