一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究

深Ｘ射线光刻是制作高深宽比ＭＥＭＳ结构的一个重要的方法。提出一种基于硅工艺和双面对准技术的ＬＩＧＡ掩模技术,工艺十分简单。采用该掩模,可进一步解决深Ｘ射线光刻中的重复对准多次曝光问题,给出了该掩模设计制作工艺过程及深Ｘ射线光刻结果,整个过程包括常常氮化夺、采用Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ双面对准曝光机进行ＵＶ光刻、电化学沉积金吸收体、体硅腐蚀形成支撑等。利用该掩模在北京ＢＥＰＣ的Ｘ射线光刻光束线上进行曝光。     

大有可为的纳米印刻技术

1.引言正当纳米技术在全球范围内掀起一场科技热潮的时候,大规模集成电路已经稳步地进入了纳米时代,特征尺寸小于100纳米的晶体管已经进入大批量生产阶段。大规模集成电路之所以能得到持续发展,主要依赖于光刻技术的不断进步。在传统半导体技术发展规划中,人们关注的下一代主要候选光刻技术是光学(包括极紫外)光刻、电子束光刻、X射线光刻和离子束光刻,而在2003年制订的《国际半导体技术发展路线》上,一种新型工具—纳米印刻技术赫然在目。由于纳米印刻技术在分辨率、产能和成本等诸多方面的独特优势,它不仅是实现未来小于45纳米特征线宽集…     

低损耗衬底上实现无源低通滤波器

分析比较了不同种类衬底上无源器件(片上电感和电容)的损耗机理,在OPS(氧化多孔硅)和HR(高阻硅)低损耗衬底上分别实现了片上低通滤波器.为了研究衬底损耗,设计了平面螺旋电感,其Q值在两种衬底上的仿真结果都超过了20.在OPS衬底上的低通滤波器实测-3dB带宽为2.9GHz,通带插入损耗在500MHz为0.87dB;在HR衬底上的低通滤波器实测-3dB带宽为2.3GHz,通带插入损耗在500MHz为0.42dB.     

一种X波段RF MEMS开关的设计与制作研究

设计并制作了一种X波段的电容式RF MEMS开关。该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134pH．有效降低了“关”态的谐振频率。结合开关的等效电路模型．使用Agilent ADS软件以及理论公式计算对该开关进行了设计和优化。与传统桥膜电容式开关相比,所介绍的开关”关”态隔离性能得到了很大提高。利用表面微机械工艺,在高阻硅衬底上制备了开关样品。X波段MEMS开关的在片测试结果表明：驱动电压为9V,“开”态的插入损耗约0．69dB@11．6GHz;“关”态的隔离度约27．7dB@11．6GHz。     

新能源公交车充电数字化监控系统设计

针对新能源公交车充电站场充电数据离散异构与实时监控的问题,设计了一套新能源公交车充电数字化监控系统.首先,对系统不同业务角色进行系统分析,明确业务场景流程;然后,从系统设计原则、网络设计、系统功能模块设计以及系统出错处理设计等方面重点设计,采用基于成熟可靠的JavaEE技术体系,网络层面采用VPN保障新能源公交车充电站...     

相对论热力学向量理论

指出了Planck-Einstein相对论热力学(P-E理论)中存在的缺点,提出了相对论热力学向量理论(向量理论)。该理论在定义内能为四维向量和假定熵和粒子数为不变量的基础上得到了所有的热力学量的变换关系;并写出了体系的Lagrange量和热力学定律的四维形式。为了检验新理论的正确性,还给出了几个具有经典极限的精确解。该向量理论克服了P-E理论的缺点。     

用于硅衬底隔离的选择性多孔硅厚膜的制备

在硅衬底上形成高阻隔离层对于提高硅基射频电路的性能具有重要意义。采用多孔硅厚膜作为隔离层，能够极大地降低衬底高频损耗。本文对n^ 型硅衬底上选择性多孔硅厚膜的制备进行了研究。通过在阳极氧化反应中采用不同的HF溶液的浓度、电流密度和反应时间来控制多孔硅的膜厚、孔隙度等特性。有效地减少了多孔硅的龟裂失效，得到的多孔硅最大膜厚为72μm。并测量了多孔硅的生长速率与表面形貌。     

RF-MEMS的系统级封装

射频(RF)技术在现代通信领域正得到越来越广泛的应用,用MEMS方法制备的射频元件不仅尺寸小、成本低、功能强大,而且更利于系统集成.系统级封装(SIP)寄生效应小、集成度高的优点特别适合用来封装RF-MEMS系统.本文介绍了系统级封装的发展现状特别是在射频领域的应用,同时重点分析了在RF-MEMS系统级封装中封装结构、元件集成、互连及封装材料等几个关键问题.     

微型PCR系统及其温控特性研究

介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究.系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成.PCR芯片采用MEMS技术制作.用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验.结果显示:微加热器升温速度可以达到3 ℃/s,降温速度可以达到1℃/s,稳定后温度变化小于0.1 ℃.通过实验结果与理论计算的对比,分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素.     

核密度估计时-空域滤波红外背景抑制方法

提出一种基于核密度估计的时-空域滤波算法,用于红外搜索跟踪系统图像的背景抑制。算法分为空域滤波和时域滤波两部分。在空域滤波中,采用核密度估计算法对背景进行平滑;在时域滤波中,采用核密度估计算法对经过空域滤波后的图像灰度值进行概率计算,判别属于背景残差的灰度值,然后做进一步的滤除。核方法对背景有很好的光滑性且易于计算机实现,实验表明,这种非参方法设计的时-空域滤波算法对背景杂波有非常良好的抑制效果,信噪比也得到明显提高。