真空下激光烧蚀碳化钨铜多组分等离子体发射光谱的时空演化研究

激光诱导击穿光谱技术目前已用于国内大科学装置EAST托卡马克壁诊断。在真空环境下,如何提升LIBS定量分析准确性是其进一步发展的瓶颈问题之一。在真空中,激光诱导等离子体具有高度时空非均匀性,对等离子体时空演化行为的研究,理解各个物种的演化规律,是进一步改进LIBS定量分析准确性的重要内容。针对托卡马克第一壁和偏滤器的材料相关的不同元素,该工作在真空环境下利用波长为1 064 nm、脉宽5 ns、功率密度6.3 GW·cm^-2的脉冲激光对三元合金-碳化钨铜((WC)₇₀Cu₃₀)进行烧蚀产生多组分等离子体,使用线性阵列光纤实现了对发射光谱的时空分辨测量。以三种元素CⅠ833.51 nm, CⅡ657.81 nm, CuⅠ515.32 nm, CuⅡ512.45 nm, WⅠ429.46 nm, WⅡ434.81 nm六条谱线为研究对象,研究了激光烧蚀等离子体不同辐射机制的时间尺度以及多组分等离子体在扩张过程中发生的元素“空间分离”现象和“离子加速”现象。根据连续背景和六条谱线的时间演化规律,观察到连续辐射主要发生在等离子体...     

关于深化应用智能巡检机器人的方法研究

智能巡检机器人的出现可以代替或辅助人工进行巡检,但是智能巡检机器人在实际运用中存在运行稳定性差、巡检质量不高、巡检数据利用率低等问题,达不到机器人深化应用的目的.针对该问题本文从机器人的安装、调试、验收、运行、维护等方面阐述了解决方法,并提出对目前智能巡检系统运行方式、导航方式、集控方式、数据分析处理的改进方法,通过对...     

紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分SiO2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。     

基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.     

基于RFID技术的物流仓储管理系统设计

计算机信息技术的快速发展改变了物流行业的业务模式,推动了仓储管理模式的信息化,计算机与射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)技术已被普遍应用于物流仓储管理中.在此基础上,从仓储管理系统的实际需求出发,建设一套基于计算机与RFID技术的物流仓储管理系统,主要包括整体架构设计、技...     

医用智能消毒打包垃圾桶的设计与实现

近年来，随着我国经济的快速发展和人民生活水平的不断提高，人们对医疗卫生服务质量提出了更高的要求。医院作为一个特殊的公共场所，其环境与患者健康息息相关。在当前形势下，如何有效改善病房内的空气质量、减少交叉感染、降低医护人员工作强度等问题亟待解决。针对上述问题，文中结合国内外相关产品现状及市场需求情况，对“医用智能消毒打包垃圾桶”进行了分析和探讨，旨在研发出一款具有创新性且符合现代医院需求的新型产品。     

先进节点图案化晶圆缺陷检测技术

随着亚10 nm集成电路芯片逐步进入消费电子、互联硬件、电子医疗设备等领域，由半导体制造设备所引入的晶圆缺陷对集成电路在良率与价格方面的影响将不断显现，由此带来的对典型缺陷进行高速识别、定位与分类等制造过程控制环节，将变得越来越具有挑战性。传统的晶圆缺陷检测方法包括明场、暗场及电子束成像方法，尽管能够覆盖绝大多数缺陷检测场景，但难以在检测精度、检测灵敏度和检测速度上取得较好的平衡。纳米光子学、计算成像、定量相位成像、光学涡旋、多电子束扫描、热场成像以及深度学习等新兴技术的出现，在提升缺陷灵敏度、分辨率以及对比度等方面已初步展现出一定的潜力，这为晶圆缺陷检测提供了新的可能性。因此，本综述将从缺陷的可检测性、缺陷检测系统与原理样机、先进图像后处理算法三个方面总结晶圆缺陷检测领域的最新进展，以期对初入该领域的研究人员和跨学科工作者提供一定助益。