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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪、X射线衍射技术、原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积速率)、结晶质量、表面形貌与粗糙度、透光光谱,报道了该薄膜结晶质量、薄膜粗糙度与其在可见光区透光率的关系. 相似文献
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应用傅立叶变换红外光谱法实现了聚氯乙烯及邻苯二甲酸酯类增塑剂的快速鉴别。对聚氯乙烯的定性采用了衰减全反射技术,用锗作为晶体材料,对邻苯二甲酸酯类的定性则采用透射法。用溶解-沉淀法对试样进行分离和纯化,所用溶剂为四氢呋喃,沉淀剂为无水乙醇。经过此方法,聚合物与增塑剂达到很好的分离和纯化。 相似文献
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1-苯氧基乙酰基-4-(邻硝基苯甲酰基)氨基硫脲及其相关杂环化合物的合成研究 总被引:7,自引:0,他引:7
芳氧基乙酸及其衍生物对植物有很强的生理活性,广泛用作除莠剂和植物生长调节剂[1,2].1,4-二酰基取代的氨基硫脲及其杂环衍生物亦有多种生物活性[3].若将上述两类具有生物活性的基团聚集于同一分子中,实现其活性叠加,同时改变取代基,有望获得具有更高生物活性的物质.基于此,我们在以前工作[4]的基础上,以PEG-400为催化剂,在固-液相转移条件下,用邻硝基苯甲酰氯与硫氰酸铵反应,首先制得邻硝基苯甲酰基异硫氰酸酯(Ⅰ),不经分离,Ⅰ直接与芳氧基乙酰肼加成得到了1-芳氧基乙酰基-4-(邻硝基苯甲酰基… 相似文献
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合成了3个新型开链冠醚Schiff碱-稀土离子三元配合物RE(H2L)(Mq)(NO3)3,其中RE=Nd3 ,Er3 ,Yb3 ,配体H2L=N,N-双(邻羟苯亚甲基)-3,6-二氧杂-1,8-二氨基辛烷,Mq为8-羟基喹哪啶.采用元素分析、红外光谱(IR)、紫外-可见吸收光谱(UV-vis)、热重-差热分析(TG-DTG)等手段对配合物的组成结构进行了表征.测定了3种新型结构稀土三元配合物在不同温度(77 K和300 K)时的近红外发光光谱. 相似文献