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离子注入过程中,注入离子在掩模边缘附近的分布决定MOS晶体管漏极区域处的电场强度,计算了70keV硼离子注入硅样品中不同掩模边缘离子密度等线,考虑了四阶矩下的杂质深度分布(无掩模情况)。合理选择掩模蚀刻工艺,可获得均匀性,高抗噪声度的器件中。同时也指出了太薄掩模材料对注入离子分布的影响。 相似文献
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谭福有 《信息技术与标准化》2006,(7):52-54
经济发展的国际化趋势,把标准的国际化问题提到了每个国家的日程。国际贸易的发展,尤其是世界贸易组织的建立,成为标准国际化的强大推进器。在1979年签订的《贸易技术壁垒协议》中规定:“在一切需要有技术法规和标准的地方,当已经有国际标准或相应的国际标准即将制定出来时,参加国均应以这些国际的技术法规或标准的有关部分,作为制定本国技术法规和标准的依据”。其目的是为了克服因各国标准的不一致而造成的技术障碍。这一国际准则的确立,不仅促使国际标准化活动出现了空前活跃的局面,而且使全世界都认识到采用国际标准是商品进入国际市场的有力竞争武器,并成为一种世界潮流。 相似文献
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在微波传输中,波导的维护保养十分重要,为防止波导进入潮湿空气或渗漏进雨水而影响传输,必须使波导内保持一定气压的干燥空气。微波收发讯机设计气泵均为交流220V供电。当微波站采用风力发电机或太阳能供电时,则不能保证交流220V供电。使用逆变器,对于交流220V、2.4A的空气压缩机用电动机,启动电流较大、小功率逆变器带不动,大功率逆变器对蓄电池组负担较大,且不直解决。只有在开启自备柴油发电机组时,方能进行正常充气。因此,不能保证波导管内的正常气压。雨季潮湿空气易进入波导管内,造成锈蚀。高寒季节尤为室内外连接处易造… 相似文献
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简要地概述的设计无载波脉冲探地雷达天线的理论论据和方法,并讨论了天线的类型的技术现状,对一种比较实用的无载波脉冲探地雷达天线的近地面工作特性进行了实验测试。结果表明,天线的性能在一定程度上受土壤特性的影响,天线向地下传输的能量与天线距离地面的高度h有很大关系。在h≤40cm时,随着天线高度h的升高,天线向地下传输的能量急剧地减小。借助于该实验,还对天线辐射出的无载波脉冲在土壤中的传播特性进行了研究 相似文献