干式腐蚀

现在,以半导体集成电路为代表的微电子元件所用的微细图形,是由以照相技术和化学腐蚀为中心的工艺完成的。但是,化学腐蚀具有如下的问题:(1)最近,由于图形向微细化发展,既使已用到此项极限技术,要进行十分良好的腐蚀也还是相当困难的。(2)工艺带来了腐蚀表面的氧化、表面对水分的吸附、侧向腐蚀等现象,这些都是使用水溶液腐蚀剂所不可避免的本质困难。(3)药品的水溶液将发生公害。干式腐蚀技术,能够解决以上问题,它是一种利用离子轰击构成的溅射腐蚀和活性     

传真与线阵固体图像传感器(13)

线阵图像传感器固体摄像器件中的一维固体图像传感器(线阵传感器)作为光电转换部分为自扫描的图像传感器,在以传真发射机,光符识别(OCR)和位置与尺寸检测之类的计量仪器为中心的应用方面已达到了实用化阶段。由于图像传感器的固体化,从而缩小了这些装置的体积,降低了电压,提高了可靠性,并     

基于二元混合自组装包裹纳米颗粒的微传感器抗体固定方法

采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜.采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征.纳米粒子在微电极表面均匀分布,没有明显的团聚,并且可实现抗体有效固定.基于标准互补金属氧化物半导体(Complementary met...     

基于2-(4-吡啶基)-1H-咪唑-4,5-二羧酸配体的镉(Ⅱ)配合物的晶体结构及发光性质

在水热条件下, 以2-(4-吡啶基)-1H-咪唑-4, 5-二羧酸(H₃PIDC)和1,10-菲咯啉衍生物为混合配体合成了2个镉Ⅱ配合物{[Cd₃(HPIDC)₃(DPPZ)₃]·7H₂O}_n(1)和[Cd(HPIDC)(Imphen)(H₂O)]₂ (2)(DPPZ=二吡啶并[3, 2-a:2', 3'-c]吩嗪;Imphen=咪唑并[4, 5-f][1, 10]菲咯啉), 利用元素分析、红外光谱以及单晶X-射线衍射表征其结构。分析表明配合物1和2分别为一维链状与零维结构。此外, 2个配合物展示了优良的热稳定性及光致发光特性。     

随机需求下多供应商和多零售商的生产-库存-运输联合优化模型

考虑随机需求下多供应商和多零售商的生产-库存-运输联合优化问题.在联合优化时,首先利用最近邻算法将各零售商分成不同区域,分区后问题转化为随机需求下单供应商对多零售商的生产-库存-运输联合优化问题.在每个分区内,由供应商统一决策其分区内各零售商的送货量和送货时间.利用粒子群算法和模拟退火算法相结合的两阶段算法求出最优送货量、最优运输路径和最大期望总利润.然后采用收入共享契约将增加的利润合理分配给各供应商和各零售商,使各方利润都得到增加,从而促使各方愿意合作.通过数值算例验证了联合优化模型优于独立决策模型.     

任意波形输入脉冲光纤背向瑞利散射的研究

背向瑞利散射是光纤中一种重要的物理过程,利用该物理现象实现的光时域反射计是一种重要且常见的光纤测量设备.本文理论研究了任意波形的输入脉冲在光纤中的背向瑞利散射过程,导出了将瑞利散射看作为一种线性系统的冲激响应函数,讨论了方波与有振荡拖尾的注入脉冲的背向散射输出波形.对于方波注入,利用商用光时域反射仪表对理论进行了验证;对于有拖尾的脉冲,进行了实验研究,结果表明仿真与实验结果一致.     

弱相干光源测量设备无关量子密钥分发系统的性能优化分析

测量设备无关量子密钥分发系统能够抵御任何针对单光子探测器边信道的攻击, 进一步结合诱惑态的方案, 可以同时规避准单光子源引起的实际安全漏洞. 测量设备无关量子密钥分发系统中, 非对称传输、分束器的不对称以及各个单光子探测器存在实际参数差异等光学系统的具体实现特征会对系统误码率和成码率等性能产生一定的影响. 本文针对采用弱相干光源的测量设备无关量子密钥分发系统, 引入单光子探测器品质因子的实验参数(暗计数与探测效率的比值), 通过量子化描述, 理论推导并模拟了误码率与单光子探测器品质因子、分束器反射率以及通信双方弱相干光源平均光子数之间的关系. 结果表明: 在X基偏振编码 和相位编码系统中, 当分束器的反射率趋近于0.5时, 误码率取最小值; 在偏振编码和相位编码系统中, 误码率随着单光子探测器品质因子的增大而增大; 在Z基偏振编码系统中, 误码率随分束器的反射率的变化会呈现较小的波动, 当分束器的反射率为0.5时, 若通信双方采用的平均光子数相差较大, 则误码率取最大值; 分束器的反射率和平均光子数对误码率的影响在Z基情况下不能等同, 但是对于X基编码和相位编码却能等同.     

纳米圆轴在弹性介质中的扭转振动分析

基于非局部应变梯度理论,考虑周围弹性介质的影响,研究纳米圆轴的扭转自由振动。首先通过Hamilton原理推导纳米圆轴扭转振动的控制方程及边界条件,接着采用微分求积法得到控制方程及三类边界条件的离散形式,最后由数值计算结果分析扭转振动特性。讨论了两个小尺度参数和弹性介质刚度的变化对振动频率的影响,并通过小尺度参数比对振动频率的影响分析两个尺度参数的耦合作用。研究结果表明,扭转自由振动频率随非局部参数增加而减小,随应变梯度尺度参数、弹性介质刚度增加而增大;当非局部参数大于应变梯度尺度参数时,小尺度效应体现为非局部效应,相反则体现为应变梯度效应。     

航母中线电视监视系统的设计

研究设计了航母中线电视监视系统。依据照度、对比度及分辨率要求提出了一套基于电子倍增电荷耦合器件（EMCCD）的光电成像系统。分析了航母中线电视监视系统的舰载稳定平台的精度要求,并探讨了该系统可采用的图像处理算法。分析表明：采用主流的AndorIxonEMCCD并配合口径为40mm的光学系统可满足照度、对比度和分辨率的要求;采用Petzval形式初步设计的F／2光学系统,其光学传递函数接近衍射极限;而现有舰载稳定平台技术可以满足指向稳定的需要。最后,分析了形心算法、边缘算子算法在获取着舰机位置和姿态角的应用。该系统具有全天候工作能力,适用于航空母舰的着舰引导。     

有关卫星地球站安全播出的一点思考

卫星通信在广播电视上广泛应用,成为我国广播电视节目传输的重要渠道之一。加强卫星地球站的安全播出管理,需要考虑卫星地球站播出安全和空间链路传输安全。卫星地球站播出安全包括站址选择、基础设施建设、技术系统配置、入网测试、技术管理、外部环境管理等;空间链路传输安全包括空间干扰、自然干扰、恶