碱性Cu抛光液中非离子表面活性剂和氧化剂作用的研究

化学机械抛光是集成电路制造工艺中十分精密的技术。在本文中,为了改善抛光效果,分表讨论了非离子表面活性剂和氧化剂在CMP过程中作用。我们主要分析了非离子表面活性剂对片内非均匀性和表面粗糙度的影响。同时,我们从静态腐蚀速率、电化学曲线和剩余高低差的角度,讨论了在不加BTA条件下,不同氧化剂浓度的抛光液的钝化特性。实验结果明显地表明：加入了非离子表面活性剂的抛光液,更有利于改善抛光后的片内非均匀性和表面粗糙度,并确定2vol%体积分数是比较合适的浓度。当抛光液中氧化剂浓度超过3vol%,抛光液拥有较好的钝化能力,能够有效减小高低差,并有助于获得平整和光滑的表面。根据这些实验结果,非离子表面活性剂和氧化剂的作用进一步被了解,将有助于抛光液性能的改善。     

蒸发波导条件下电磁波传播的敏感性分析

为了分析蒸发波导条件下气象参数变化对电磁波传播的影响,利用Paulus-Jeske(P–J)模型,得到不同气象参数条件下的蒸发波导折射率剖面,然后利用抛物方程模型计算雷达探测距离。为今后利用气象数据和蒸发波导参数预测雷达电磁波传播距离提供一定的参考。     

共孔径偏振耦合分光系统中反射镜造成的相位延迟差的测量

 激光信标共孔径发射接收偏振分光系统的动态相位补偿需要测量望远镜各反射镜对s光和p光的相位延迟差。利用Stokes矢量和Mueller矩阵建立了物理模型,并推导出用测得的回光功率计算相位延迟差的解析式。提出一种通过实验测量回光功率计算反射镜相位延迟差的方法,解决了在0～2p范围内唯一确定反射镜相位延迟差的问题。实际测量了两块反射镜的相位延迟差,并将测量结果用于动态相位补偿偏振分光实验,验证了该方法的正确性。分析了偏振分光棱镜、法拉第旋光器以及近似计算这3个主要的测量误差源,并估计总测量误差约为1°。     

微测辐射热计阵列读出电路的单片集成设计

微测辐射热计阵列读出电路的单芯片集成,有利于红外焦平面阵列的智能化和红外成像系统的便携化发展.提出了一种非致冷红外焦平面阵列读出电路,基于SMIC 0.18 μmCMOS工艺,采用CTIA型单元读出电路结构,实现了偏置模块、驱动信号源模块、电流积分模块、相关双采样模块(CDS)和缓冲输出模块的单芯片集成,成功制造了1×8读出电路原型.仿真结果表明,设计的读出电路的线性度大于99％,功耗小于5 mW,适合于大面阵移植.     

基于FDS的地下单室火灾模拟验证实验

为了验证火灾模拟软件FDS(Fire Dynamics Simulator)的准确性,针对地下建筑单室特点,选取某工程内一个值班室作为研究对象,并根据相似准则建立了小尺度火灾房间模型。通过小尺度单室火灾实验,对烟气的扩散特性进行研究,同时利用FDS模拟软件进行单室火灾模拟,并将实验结果与模拟结果进行对比分析。结果表明,实验烟气温度随时间的变化趋势与FDS模拟结果一致,验证了火灾模拟软件FDS的准确性,证实了FDS用于模拟预测单室火灾的发展与迁移的适用性和合理性,对火灾的控制研究具有一定的参考价值。     

太赫兹真空电子器件用场发射阴极技术分析

本文阐述了太赫兹真空电子器件对阴极电子源的需求条件,分析了在该器件中应用场发射阴极的可能性。介绍了当前两种主要场发射阴极,即金属薄膜场发射阴极和碳纳米管场发射阴极的国内外发展情况,指出了它们各自的优势以及实际应用中存在的障碍,并提出了相应的解决途径。试验和分析结果表明,场发射阴极具有很好的太赫兹真空电子器件应用前景。     

基于改进粒子群优化算法的火电厂机组负荷分配

以坑口电厂SIS系统机组负荷优化分配功能模块为应用背景,针对基本粒子群优化算法易陷入局部收敛、收敛速度慢的缺点,提出一种基于惯性权重非线性减小策略的改进粒子群优化算法。并且通过MATLAB与Visual C++混合编程,开发了机组负荷在线优化分配功能模块,提高了算法的计算效率和工程应用价值。     

虚假消息注入攻击下的多车队列纵向稳定性控制研究

针对虚假消息注入攻击下多车队列系统纵向稳定性控制问题,采用加性不确定方法量化攻击对队列系统的影响,采用等效时滞、网络诱导时滞等方法,将通信时滞与数据丢包、车载传感器数据离散化特性等因素整合到队列中,构建了网络攻击与信息延迟下的队列模型。基于李雅普诺夫-克拉索夫斯基稳定性理论和H_∞鲁棒控制,提出了一种弱保守性分布式鲁棒抗干扰控制方法,并给出了队列系统保持稳定性的条件。仿真结果表明,所提出的鲁棒H_∞控制方法在保证队列内稳定需求的同时,能兼顾队列稳定性。与常规队列干扰抑制控制方法相比,对于队列内相邻车辆之间的间距误差控制以及跟随车辆与领航车之间的速度跟踪控制效果更好。     

察哈素煤矿综采面多尘源耦合数值模拟研究

当前,绝大多数煤矿在开采过程中,均会产生一些粉尘,对开采人员的身体健康造成极大的危害,还会对开采效果造成影响。文章以察哈素煤矿综采面为例,使用多尘源耦合数值模拟方法进行全面分析,分析得出粉尘的运动轨迹,从而得出不同作业工序下空间粉尘浓度分布,确定影响粉尘浓度分布的主要因素。     

微弧氧化陶瓷膜封孔后处理及抗高温氧化性能的研究

在铝酸盐体系中,利用微等离体氧化脉冲电源在Ti-6Al-4V合金表面制备了以Al2TiO5为主晶相的陶瓷膜层,然后采用钛酸四丁酯/乙醇和硅酸钠溶液的封孔方法对微弧氧化陶瓷膜进行封孔后处理。通过SEM及高温氧化测试,分析比较了陶瓷膜层在封孔前后的表面形貌以及抗高温氧化性能的变化情况。结果表明:封孔后膜层孔洞明显变小。经700℃高温氧化测试,采用钛酸四丁酯/乙醇溶液封孔方法不仅没有带来抗高温氧化性能的提高反而下降,而硅酸钠溶液的封孔方法提高了抗高温氧化性能。