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采用直流反应磁控溅射与高温退火工艺大批量制备了膜厚为200 nm、400 nm及800 nm的2英寸蓝宝石基氮化铝模板,并对高温退火前后不同膜厚模板使用各种表征手段进行对比分析.结果 表明:采用磁控溅射制备膜厚为200 nm的模板经高温退火后晶体质量得到显著提升,退火前后整片(0002)面和(10-12)面高分辨率X射线衍射摇摆曲线半高宽分别从632 ~ 658 arcsec和2 580 ~2 734 arcsec下降至70.9 ~ 84.5 arcsec和273.6 ~ 341.6 arcsec;模板5 μm×5μm区域内均方根粗糙度小于1 nm;紫外波段260 ~280 nm吸收系数为14 ~20 cm-1;高温退火前后拉曼图谱E2(high)声子模特征峰半高宽从13.5 cm-1降至5.2 cm-1,峰位从656.6 cm-1移动至657.6 cm-1,表明氮化铝模板内的拉应力经高温退火后得到释放,接近无应力状态. 相似文献
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我国人口众多,广播电视作为人们接收外界信息的重要渠道,其有着较为广阔的发展空间。然而,广播电视行业因在财务管理模式上的不足限制了自身的良性发展。为此,本文将立足于新形势背景,围绕广播电视行业财务管理这一主线进行深入的探讨和分析,并针对该行业在财务管理上存在的不足提出具有可行性的财务管理策略,以供参考。 相似文献
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以广东海洋大学建设海洋遥感与信息技术实验室为背景,详细介绍了卫星海洋遥感数据接收与处理系统的组成,分析了卫星数据处理流程,并探讨与分析了安装、调试和运行中的常见问题,以期为建站同行提供帮助。 相似文献