pH-ISFET器件及其电路的SPICE模拟方法

本文提出用SPICE软件模拟pH-ISFET器件及其电路的方法。通过SPICE内部的MOSFET参数和引入一些信号源来实现对pH-ISFET传感器及其电路的pH灵敏度关系、瞬态响应以及温度特性的模拟,所得结果与实验观测结果基本相符。     

微型泵的物理模型动态模拟

根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论,建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力方程。揭示流量、压力等微机械泵性能参数与执行器输出以及负载之间的内在关系。而且在此基础上用有限元分析方法,建立了其数据模型,并且进行模拟,所所结果与实验符合较好。     

微型泵的物理模型与动态模拟

根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论 ,建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力方程。揭示流量、压力等微机械泵性能参数与执行器输出以及负载之间的内在关系。而且在此基础上用有限元分析方法 ,建立了其数值模型 ,并且进行模拟 ,所得结果与实验符合较好。     

电解液—Si3N4绝缘体界面表面基／复合中心模型的研究

本文在表面基模型基础上，借用半导体物理中复合／产生概念，提出了表现基／复合中心，工研究了含两种类型表面基的Ｓｉ３Ｎ４绝缘体及其两种面基的比率对Ｓｉ３Ｎ４栅ＰＨ－ＩＳＦＥＴ敏感性能和性的影响，其结果与实验结果相符。对改善ＰＨ－ＩＳＦＥＴ传感器的敏感特性具有实际指导意义。     

氧化物－电解溶液界面的表面基吸附模型研究

基于统计物理学和两层吸附模型提出氧化物－电解溶液（ＯＡＥ）界面的表面基吸附模型，推导出完全由微观物理、化学参量描述的ＯＡＥ界面电荷密度与电势的关系表达式，结果与实验数据的拟合在零电荷点附近令人满意，并对理论结果进行了讨论．     

FIA系统的设计

报道了一种 FIA系统。该 FIA系统集成了 p H-ISFET传感器、微型泵以及传感器信号处理电路 ,体积实现微型化。实验结果表明 ,本系统具有响应速度快、稳定可靠等特点 ,且仅需微量待测液体     

国外传感技术研究现状

本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状,指出传感技术的研究已开始深入,基础研究得到加强,集成化系统化方面的研究取得明显成果,并出现了两个跨学科的前沿方向——硅微机械加工和真空微电子学。     

Si3N4绝缘栅中两种表面基对pH—ISFET器件敏感特性的影响

在表面基模型理论基础上，本研究了含两种表面基的Ｓｉ３Ｎ４绝缘体主其两种表面基的比例系数对ｐＨ－ＩＳＦＥＴ器件敏感特性的影响。在硅西／胺基＝７／３附近时，得到电解液－绝缘体界面势对ｐＨ值的灵敏度最大，且线性响应范围宽。     

CO／H2集成FET型气敏传感器的研究

本文初步探讨了FET型气敏传感器的敏感机理,采用N阱双极MOS兼容工艺,将CO,H_2气敏单元,择优差分型气敏单元、加热单元、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的芯片自恒温系统,研制出具有良好的选择性和稳定性,较高灵敏度的集成MOS气敏传感器.