实现多层混合刻蚀薄膜大面积均匀的方法浅探

采用多层光刻工艺结合氩离子铣的混合刻蚀方法，刻蚀高Ｔｃ超导ＹＢａＣｕＯ／ＺｒＯ２（１００）薄膜图形，取得了较好的结果。在进行氩离子镜的工艺步骤中，使用普通氩离子铣设备（离子束斑极不均匀），但采取了一定的措施─－使被刻样品在刻蚀台座上可移动，模糊地实现了薄膜的相对＂大面积＂（直径φ≥２０ｍｍ）均匀刻蚀─－可同时刻蚀２～３片６ｍｍ×１０ｍｍ薄膜，并且被刻蚀部分表面起伏约在１０ｎｍ左右。图形样品的最小线条达２μｍ，其Ｔｃ、Ｊｃ人与刻蚀前薄膜的Ｔｃ、Ｊｃ相当，即：ＴＣ为８５～９０Ｋ，Ｊｃ～１０６Ａ／ｃｍ２（在７７Ｋ下）。     

PERT工序时间估计的一些研究

本文首先从理论上分析了在工序时间服从β—分布的条件下，传统的ＰＥＲＴ公式的估计误差，并指出其中的方差估计误差范围比较大．其次本文介绍了国外提出的若干工序时间估计改进方法，并对其相互优劣比较结果进行了评述．最后本文就工序时间估计的一些基本问题进行了讨论．     

X射线荧光光谱法测定铝土矿中的主成分

建立了X射线荧光光谱法测定铝土矿中主要成分氧化铁、氧化硅、氧化铝、氧化钠、氧化钾、氧化钛、氧化钙、氧化镁的方法。将铝土矿样品以四硼酸锂作熔剂,氟化锂作助熔剂,碘化铵作脱模剂高温熔融制备成玻璃熔片,以标准物质和自制标样作校准曲线,在XRF-2400仪上按选定的仪器条件测量强度,按预先建好的校准曲线计算结果,并与化学法进行对照,结果基本一致,方法操作简单、快速,准确度和精密度均达到国家标准方法规定的要求。     

表面组装与芯片键合混合工艺浅探

我们在高新技术产品试制过程中，对表面组装与芯片键合的混合工艺作了一些探索，本文重点就有关工艺流程安排，以及在裸芯片组装中的所遇到的一些具体问题，简单地作一讨论。     

一道平面几何“老”题的多种解法

在学习数学知识的过程中 ,解题是一个必然的工作。对于同一道数学题 ,若能引导学生从不同的角度多思考 ,用不同的方法多探索 ,用不同的知识点多研究 ,往往会激活学生的学习热情和思维 .对提高学生学习数学的兴趣和提高数学教学的效果能起到很好的作用 .还在我念大学的时候 ,上海师范大学数学系的张元书教授就以一道平面几何题的“一题多解”牢牢的吸引了我 ,记得当时他用了六种不同的方法进行证明 .现在回想起来 :他那生动有趣的语言 ,巧妙活跃的思维 ,用一支粉笔在黑板前娓娓道来的情景还历历在目 .虽然二十多年过去了 ,但这堂课给我的印象…     

气相色谱法测定三环氧丙基异氰尿酸酯中环氧氯丙烷残留量

A simple,rapid and reliable method for the determination of trace epichlorohydrin residue in tris (2 ,3-epoxy propyl) isocyanurate for industrial use by gas chromatography is described. The gas chromatographic separation was achieved on a glass colunin packed with 4% SE-30/Chromosorb W HP at a column temperature of 80℃.The detector was FID and the carrier gas was N2.Three preducts from various manufacturers were analyzed by this methed with the coefficient of variation of 2. 2%-5. 2%。     

实现多层混合刻蚀薄膜大面积均匀的方法浅探讨

采用多层光刻工艺结合氩离子铣的混合刻蚀方法，刻蚀高Ｔｃ超导ＹＢａＣｕＯ／ＺｒＯ２（１００）薄膜图形，取得了较好的结果，在进行氩离子铣的工艺步骤中，使用普通氩离子铣设备，但采取了一定的措施－使被刻样吕在刻蚀台座上可移动。