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991.
We investigate the intermediate gas phase in the CHFs 13.56 MHz/2 MHz dual-frequency capacitively couple plasma (CCP) for the SiCOH low dielectric constant (low-k) film etching, and the effect of 2MHz power on radicals concentration. The major dissociation reactions of CHF3 in 13.56MHz CCP are the low dissociation bond energy reactions, which lead to the low F and high CF2 concentrations. The addition of 2MHz power can raise the probability of high dissociation bond energy reactions and lead to the increase of F concentration while keeping the CF2 concentration almost a constant, which is of advantage to the SiCOH low-k films etching. The radical spatial uniformity is dependent on the power coupling of two sources. The increase of 2 MHz power leads to a poor uniformity, however, the uniformity can be improved by increasing 13.56 MHz power. 相似文献
992.
993.
利用程序升温反应技术考察了cu交换度对Cu-Al-MCM-41上NO选择性还原反应性能的影响,同时结合XRD,N2吸附等温线,NMR,ICP-AES,TPD和TPR等技术对催化剂的结构特征和化学吸附性能进行了表征.结果表明,经Cu离子交换的Al-MCM-41并未改变载体的结构特征,仍保持长程有序的中孔结构.影响Cu-Al-MCM-41催化剂选择性还原活性的主要因素是Cu交换度,而不是Cu含量,前者决定了活性中心(主要是Cu^2 )的浓度.当Cu交换度低于100%时,随着Cu交换度的增加,NO最大转化率增加.当交换度超过100%后,催化剂的还原活性下降,此时出现的CuO起完全氧化的催化作用而非选择性还原的催化作用.在n(Si)/n(Al)=10,Cu交换度接近100%的Cu-Al-MCM-41上360℃时可获得79%的NO最大转化率. 相似文献
994.
三种新的铕(Ⅲ)三元配合物的合成及发光性质研究 总被引:4,自引:0,他引:4
合成了吡嗪[2,3-f] 并邻菲罗啉及其一系列衍生物,作为第二配体,并以二苯甲酰甲烷为第一配体,合成了3种新的铕(Ⅲ)三元配合物.通过元素分析、红外光谱、核磁共振光谱确定了它们的组成,研究了三种配合物的热稳定性、成膜性能和光致发光性能(发光强度、荧光量子效率和寿命),并初步从理论上探讨含有不同基团的第二配体的结构对铕(Ⅲ)配合物发光的影响,结果表明:这三种铕(Ⅲ)三元配合物均为优良的红色发光材料,而且在真空条件下均形成均衡的薄膜,这为以这三种铕(Ⅲ)配合物作为发光层材料制作有机电致发光器件提供了认识基础. 相似文献
995.
用精密自动绝热量热计测定了自行合成并提纯的4,6-二甲氧基-2-嘧啶氨基甲酸甲酯在80~380 K温区的摩尔热容.实验结果表明,在345~360 K温区,该化合物有一固-液熔化过程.经两次重复测定,得其熔化温度、摩尔熔化焓以及熔化熵分别为:(357.201±0.080) K, (26.289±0.029) kJ·mol-1和(73.597±0.070) J·mol-1·K-1.通过分步熔化法得到该物质绝对纯样品的熔点为357.449 K.根据热力学关系和热容数据,计算出了该化合物相对于标准参考温度298.15 K的热力学函数.用DSC和TG热分析技术在300~500 K温区对该物质的热力学性质作了进一步研究,得到与绝热量热法一致的固-液熔化过程热力学参数,并得到该化合物蒸发过程的热力学参数:沸点为488.06 K,摩尔蒸发焓为81.73 kJ·mol-1. 相似文献
996.
瓜环与链状客体自组装包结配合物结构模式的考察 总被引:6,自引:3,他引:3
以2,3或4-醛基吡啶和不同长度碳链的二胺为原料,合成了一系列的N,N′-二(吡啶甲基)二氨基烷烃,以核磁共振技术为研究手段,系统考察了瓜环(cucurbit[n=5~8]ufils)为主体,链状多元胺化合物N,N′-二(吡啶甲基)-二氨基烷烃为客体的主客体包结实体自组装过程,对其中具有特殊结构的主客体包结实体进行了详细描述,实验结果表明,对于不同瓜环与不同的客体相互作用,所形成的主客体包结配合物的结构各不相同,不仅如此,某一特定瓜环与某一特定客体相互作用,所形成的主客体包结配合物的结构也有可能是多种模式的,这些结构还得到ESMS质谱分析的支持。 相似文献
997.
为实现现场快速定量分析地表水中的多种重金属元素,建立了一种树脂预富集-单波长激发能量色散X射线荧光光谱法现场准确快速测定地表水中Cr(Ⅵ)、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、As、Cd、Pb 10种元素的分析方法。对该方法其中的树脂预富集条件进行了优化,结果表明最佳预富集条件为:树脂粒度38μm-75μm;水样体积30mL;水样流速6mL/min;预富集完成后即刻测量;样品pH值为5。在方法学方面考察了该方法的检出限、精密度、正确度,其中Cr(Ⅵ)、Cu、Zn、As、Cd、Pb 元素的检出限低于地表水环境质量标准GB 3838-2002的限值要求;精密度中相对标准偏差范围为2.13%~10.4%;加标回收率为90.0%~114%之间。采用该方法测定实际地表水样品,并与ICP-MS法进行比对,其测定结果基本一致。研究表明该方法检出限可以满足地表水中Cr(Ⅵ)、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、As、Cd、Pb 的检测要求,精密度和准确性较好。该研究对地表水中无机元素分析方法的拓展进行了有益尝试和积累,并为后续相关标准制订提供有益参考。 相似文献
998.
999.
1000.
通过对自然状态以及饱水状态下的混凝土试样分别进行冻融循环试验,并在不同冻融循环次数后对混凝土试样进行单轴压缩强度测定,研究了材料弹性模量、抗压强度、应力应变关系等力学特性的变化规律,以此分析了在冻融环境下混凝土材料的损伤劣化机制。结果表明:混凝土冻融损伤劣化模式具有多样性,随着冻融循环次数的增加,混凝土试样逐渐呈现出颗粒脱落、微裂纹萌生扩展、剥蚀和块落等多种形式相结合的损伤劣化模式;而试样弹性模量及强度明显减小,且强度受水影响非常显著。该研究从试验角度解释了在冻融环境下混凝土力学性能的变化规律,为寒区重大工程冻融灾变预测、防治提供了较可靠的试验与理论依据。 相似文献