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通过反应磁控溅射过程中的等离子体发射光谱,研究了制备ZnO薄膜的沉积温度、氧气流量比例R=O2/(O2+Ar)对Zn和O原子发射光谱的影响,并结合ZnO薄膜的结构和物理性能,探讨了沉积温度在ZnO薄膜生长中的作用.研究结果显示:当R≥0.75%时, Zn的溅射产额随R的增加基本呈线性下降规律.当R介于10%—50%时,氧含量的变化相对平缓,有利于ZnO薄膜生长的稳定性控制.Zn原子发射光谱强度随沉积温度的变化可以分为三个阶段.当沉积温度低于250℃时,发射光谱强
关键词:
ZnO
薄膜生长
反应磁控溅射
等离子体发射光谱 相似文献
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文章提出了大学研究性物理实验与创新心理品质培养的主题,介绍了大学研究性物理实验的特点,论述了大学研究性物理实验对大学生创新心理品质的影响。 相似文献
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设函数f(w)为凸区域D内的单叶解析函数,对于2≤n≤8和所有w∈D,本文得到估计式|f(n)(w)/f'(w)|的精确上界.这个结果推广了一些已知的结论. 相似文献
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Q. Sun Q. Wang X.G. Gong V. Kumar Y. Kawazoe 《The European Physical Journal D - Atomic, Molecular, Optical and Plasma Physics》2002,18(1):77-81
We report results of the atomic and electronic structures of Al7C cluster using ab initio molecular dynamics with ultrasoft pseudopotentials and generalized gradient approximation. The lowest energy structure is
found to be the one in which carbon atom occupies an interstitial position in Al7 cluster. The electronic structure shows that the recent observation [Chem. Phys. Lett. 316, 31 (2000)] of magic behavior of Al7C- cluster is due to a large highest occupied and lowest unoccupied molecular orbital (HOMO-LUMO) gap which makes Al7C- chemically inert. These results have further led us to the finding of a new neutral magic cluster Al7N which has the same number of valence electrons as in Al7C- and a large HOMO-LUMO gap of 1.99 eV. Further, calculations have been carried out on (Al7N)2 to study interaction between magic clusters.
Received 28 July 2001 相似文献
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网络环境下的物理实验教学模式 总被引:4,自引:2,他引:2
目前网络环境下的物理实验教学新模式主要有物理实验专题网站、实验教学网络管理、实验类网络课程及远程控制物理实验.本文简要介绍了各个模式的特点及实施方法. 相似文献
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A three-dimensional molecular dynamics (MD) model is utilized to investigate the effect of tool geometry on the deformation process of the workpiece and the nature of deformation process at the atomic-scale. Results show that different states exist between the atomic force microscope (AFM) pin tool and the workpiece surface, i.e. the non-wear state, the ploughing state, the state in which ploughing is dominant and the state in which cutting plays a key role. A relationship between the deformation process of the workpiece and the potential energy variation is presented. The potential energy variation of atoms in different deformed regions in the workpiece such as plastically deformed region, elastically deformed region and the mixed deformation region is different. The features of variations of potential energy are discussed. 相似文献
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Huafei Sun 《Geometriae Dedicata》2002,90(1):63-75
We study minimal submanifolds in the locally symmetric and conformally flat Riemannian manifold and generalize Yau's result obtained in J. Amer. Math. 97 (1975), 76–100. 相似文献
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