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浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术.此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用.本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求;对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述;最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测. 相似文献
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GAOWei MUYing LIGuang-hua LIUXiao-ming SUQing YAOWei 《高等学校化学研究》2005,21(2):240-242
Recently, late-transition-metal complexes have been extensively used as both inorganic and organometallic catalysts. Some complexes have been developed as the novel olefin polymerization catalysts and copolymerization catalysts for ethylene and polar comonomers due to their lower oxophilicity and presumed greater functional tolerance. 相似文献
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借助高频等离子体发射光谱分别测定了一定温度下钙镁硅酸盐(CaO.mSiO2、MgO.mSiO2,其中m为模数)饱和溶液中Ca2 、Mg2 的平衡浓度,从而计算该温度下钙镁硅酸盐的溶度积常数,并研究了温度及水玻璃模数对钙镁硅酸盐溶度积常数的影响。结果表明,在同一温度下钙硅酸盐溶度积常数比镁硅酸盐溶度积常数小,在30℃下,水玻璃模数m为3.29时,钙硅酸盐的溶度积常数为1.14×10-8,而镁硅酸盐的溶度积常数为2.29×10-5;随着温度升高钙镁硅酸盐溶度积常数减小,当温度升高至90℃时,钙硅酸盐的溶度积常数减小至0.92×10-8,而镁硅酸盐的溶度积常数减小至1.68×10-5;在同一温度下随着水玻璃模数的增加,与其对应钙镁硅酸盐溶度积常数减小,由于模数的增加使沉淀中硅酸根离子直径变大,与钙镁离子反应生成钙镁硅酸盐晶体更易于沉淀,且更不易溶解,从而使钙镁硅酸盐的溶度积常数减小。 相似文献
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微米级硫酸钙晶须的制备 总被引:1,自引:0,他引:1
为了制备分布均一、具有较好光滑性和长径比的微米结构二水硫酸钙(CaSO4.2H2O)晶须,在室温条件下,以CaCl2和(NH4)2SO4为主要原料,通过一步超声反应制备出具有比较理想结构的微米级二水硫酸钙晶须。研究发现,在硫酸钙晶须生成过程中无水乙醇的量起着非常重要的作用,过多、过少的无水乙醇都不利于生成目标产物。CTAB的量对于二水硫酸钙晶须的长径比大小具有较大的调控作用。当无水乙醇的量为20mL,CTAB的浓度为0.9mmol/L,超声时间为1h时可以制备较理想的目标产物。120℃热处理2h晶须变碎,结果与热重结果相一致。与一般的晶体制备不同的是陈化时间对硫酸钙晶须的长径比无影响。通过X射线粉末衍射和热重分析分别对产物的结构和热稳定性进行了表征。结合实验简单探讨了二水硫酸钙晶须生成的机理,从中发现了制备较高长径比的二水硫酸钙晶须的一些规律。 相似文献
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微流控芯片以其体积小、散热性好和灵活方便等优点越来越受到广泛关注,并且经交叉、融合了激光技术、流体力学、生物化学和分析检测等众多领域的知识和成果后,已经被大量应用于化学、生物和医药分析等领域,发挥了相当重要的作用. 相似文献