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以CF4和C6H6的混合气体作为气源,在微波电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜(aC:F),并在N2气氛中作了退火处理以考察其热稳定性.通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性.
关键词:
氟化非晶碳膜
光学带隙
退火温度
热稳定性 相似文献
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Let
d−1{(x1,…,xd)
d:x21+···+x2d=1} be the unit sphere of the d-dimensional Euclidean space
d. For r>0, we denote by Brp (1p∞) the class of functions f on
d−1 representable in the formwhere dσ(y) denotes the usual Lebesgue measure on
d−1,
and Pλk(t) is the ultraspherical polynomial.For 1p,q∞, the Kolmogorov N-width of Brp in Lq(
d−1) is given bythe left-most infimum being taken over all N-dimensional subspaces XN of Lq(
d−1).The main result in this paper is that for r2(d−1)2,where ANBN means that there exists a positive constant C, independent of N, such that C−1ANBNCAN.This extends the well-known Kashin theorem on the asymptotic order of the Kolmogorov widths of the Sobolev class of the periodic functions. 相似文献
36.
差分吸收光谱法测量大气痕量气体浓度误差分析及改善方法 总被引:8,自引:2,他引:6
差分吸收光谱技术(DOAS)中采用线性最小二乘拟合方法,用痕量气体标准差分吸收截面对测量得到的差分吸收光谱进行拟合,得出大气中痕量气体的浓度.计算结果的准确性不仅取决于光谱的测量精度,而且受标准差分吸收截面以及仪器函数和温度等诸多因素的影响.详细地分析了计算误差的产生原因,提出了用高浓度样品池得到标准吸收截面的方法,针对光谱固有结构,以及温度对标准吸收截面的影响,改进了浓度反演算法.大量的实验表明,综合运用上述方法,即便对低浓度的样气,相对测量误差也能降低到10%以下. 相似文献
37.
Yan WANG Rong Quan FENG 《数学学报(英文版)》2005,21(4):773-778
A Cayley map is a Cayley graph embedded in an orientable surface such that. the local rotations at every vertex are identical. In this paper, balanced regular Cayley maps for cyclic groups, dihedral groups, and generalized quaternion groups are classified. 相似文献
38.
Oriented 2-factorable graphs are reduced to bouquets by permutation voltage assignment in this paper. Introducing the concept ofk-class index of a permutation group, various oriented 2-factorable graphs are enumerated in this paper. 相似文献
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